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本实用新型提供一种拆卸装置，至少包括支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件。本实用新型的拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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