【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种非挥发性记忆体及其制备方法,尤其是一种具有P+单一多晶架构的非挥发性记忆体及其制备方法,属于集成电路的
技术介绍
对于片上系统(SoC)应用,它是把许多功能块集成到一个集成电路中。最常用的片上系统包括一个微处理器或微控制器、静态随机存取存储器(SRAM)模块、非挥发性记忆体以及各种特殊功能的逻辑块。然而,传统的非挥发性记忆体中的进程,这通常使用叠栅或分裂栅存储单元,与传统的逻辑工艺不兼容。非挥发性记忆体(NVM)工艺和传统的逻辑工艺是不一样的。非挥发性记忆体(NVM)工艺和传统的逻辑工艺合在一起的话,将使工艺变成一个更为复杂和昂贵的组合;由于SoC应用的非挥发记忆体典型的用法是在关系到整体的芯片尺寸小,因此这种做法是不可取的。同时,由于现有非挥发性记忆体的工作原理使得写入数据容易丢失,影响使用的可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种具有P+单一多晶架构的非挥发性记忆体及其制备方法,其结构紧凑,能与CMOS工艺兼容,降低芯片成本,提高存储的安全可靠性。按照本专利技术提供的技术方案,所述具有P+单一多晶架构的非挥发性记忆体,包括半导体基板;所述半导体基板内的上部设有若干用于存储的记忆体细胞,所述记忆体细胞包括PMOS晶体管和控制电容;所述PMOS晶体管和控制电容间通过半导体基板内的领域介质区域相互隔离;半导体基板的表面上淀积有栅介质层,所述栅介质层上设有浮栅电极,所述浮栅电极覆盖并贯穿PMOS晶体管和控制电容上方对应的栅介质层,浮栅电极的两侧淀积有侧面保护层,侧面保护层覆盖浮栅电极的侧壁;PM0S ...
【技术保护点】
一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,包括半导体基板;其特征是:所述半导体基板内的上部设有若干用于存储的记忆体细胞(200),所述记忆体细胞(200)包括PMOS晶体管(210)和控制电容(220);所述PMOS晶体管(210)、控制电容(220)间通过半导体基板内的领域介质区域(214)相互隔离;半导体基板的表面上淀积有栅介质层(215),所述栅介质层(215)上设有浮栅电极(216),所述浮栅电极(216)覆盖并贯穿PMOS晶体管(210)和控制电容(220)上方对应的栅介质层(215),浮栅电极(216)的两侧淀积有侧面保护层(217),侧面保护层(217)覆盖浮栅电极(216)的侧壁;PMOS晶体管(210)包括第一N型区域(202)及位于所述第一N型区域(202)内上部的P型源极区(213)与P型漏极区(221),控制电容(220)包括第二P型区域(205)及位于所述第二P型区域(205)内上部的第一P型掺杂区域(206)与第二P型掺杂区域(209)与上方的浮栅电极(216)相对应,并分别与相应的栅介质层(215)及领域介质区域(214)相接触。
【技术特征摘要】
1.一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,包括半导体基板;其特征是所述半导体基板内的上部设有若干用于存储的记忆体细胞(200),所述记忆体细胞(200)包括PMOS晶体管(210)和控制电容(220);所述PMOS晶体管(210)、控制电容(220)间通过半导体基板内的领域介质区域(214)相互隔离;半导体基板的表面上淀积有栅介质层(215),所述栅介质层(215)上设有浮栅电极(216),所述浮栅电极(216)覆盖并贯穿PMOS晶体管(210)和控制电容(220)上方对应的栅介质层(215),浮栅电极(216) 的两侧淀积有侧面保护层(217),侧面保护层(217)覆盖浮栅电极(216)的侧壁;PM0S晶体管(210)包括第一 N型区域(202)及位于所述第一 N型区域(202)内上部的P型源极区 (213)与P型漏极区(221),控制电容(220)包括第二 P型区域(205)及位于所述第二 P型区域(205)内上部的第一 P型掺杂区域(206)与第二 P型掺杂区域(209)与上方的浮栅电极(216)相对应,并分别与相应的栅介质层(215)及领域介质区域(214)相接触。2.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述半导体基板的材料包括硅,半导体基板为P导电类型基板(201)或 N导电类型基板(239)。3.根据权利要求2所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述半导体基板为P导电类型基板(201)时,所述PMOS晶体管(210) 和控制电容(220)通过P型导电类型基板(201)内的第二 N型区域(203)及第二 N型区域 (203)上方的第三N型区域(204)与P型导电类型基板(201)相隔离。4.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述浮栅电极(216)的包括导电多晶硅。5.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述栅介质层(215)是工艺中1/0晶体管的电极栅氧化层。6.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述栅介质层(215)的厚度是7纳米。7.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述栅介质层(215)的材料包括二氧化硅;所述侧面保护层(217)为氮化硅或二氧化硅。8.根据权利要求1所述的一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是写入数据时是用热电子注入到浮栅电极216,擦除数据时是跟据FN (Fowler-Nordheim)隧道效应把电子从浮栅电极216中移走。9.一种具有P+单一多晶架构且与CMOS工艺相兼容的非挥发性记忆体,其特征是所述制备方法包括如下步骤(a)、提供半导体基板,所述半导体基板包括第一主面(232)及第二主面(233);(b)、在上述半导体基板内生长得到领域介质区域(214),和在半导体基板的第一主面 (232)上进行所需的阻挡层淀积、阻挡层刻蚀及自对准离子注入,以在半导体基板内形成所需的第一 N型区域(202)、第三N型区域(204)、第二 P型区域(205);(C)、在上述半导体基板对应的第一主面(232)上淀积栅介质层(215),所述栅介质层 (215)覆盖半导体基板(201)的第一主面(232);(d)、在上述半导体基板的第一主面(232)上淀积浮栅电极(216),所述浮栅电极(216)覆盖于栅介质层(215)上并贯穿第二 P型区域(205)和第一 N型区域(202)上方对应的栅介质层(215)上; (e)、在上述栅介质层(215)上淀积第四阻挡层(237),并选择性地掩蔽和刻蚀第四阻挡层(237),去除第一 N型区域(202)、第二 ...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:无锡来燕微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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