【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
在平板显示器件的图形制程中曝光工序所用的掩膜版(MASK),通常采用在石英玻璃上镀铬、然后在铬层上制作出需要的图形。MASK脏污后必须进行清洗,并且要保证在清洗后MASK不得残留任何污点,否则,每个产品均会出现相同的不良。通常清洗方法为清洗剂清洗、纯水冲洗、纯水漂洗等步骤后,再采用吹风方式(或酒精等挥发性溶剂)进行干燥。但是,吹风(或酒精等)必须充分洁净,才能保证干燥后MASK的洁净,否则会对MASK造成二次污染。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供,能够避免纯水漂洗后的干燥过程对掩膜版的二次污染。,其特别之处在于,包括如下步骤将洗净的掩膜版固定在夹具上并且全部浸入纯水中,该夹具与慢速运动装置连接从而能将该夹具和掩膜版平稳的慢速提升以脱离水面,控制提升的速度在10 70mm/min匀速进行提升直至掩膜版完全脱离纯水水面即可。其中掩膜版为矩形,该掩膜版所在平面与纯水的水面垂直,并且该掩膜版的长边所在直线与纯水的水面倾斜相交,相交的角度在10 30度。采用本专利技术的方法后,不用吹风(或酒精等挥发性溶剂),利用现有漂洗用的充分洁净的纯水,当掩膜版从纯水漂洗槽出来后即可保证表面干燥,从而避免了后续干燥过程对掩膜版的二次污染。附图说明附图1为本专利技术方法的原理图。具体实施例方式如图1所示,本专利技术是,包括如下步骤将洗净的掩膜版I固定在夹具2上并且全部浸入纯水中,该夹具2与慢速运动装置4连接从而能将该夹具2和掩膜版I平稳的慢速提升以脱离水面3,控制提升速度在10 70mm/min匀速进行提升直至掩膜版I完全脱离纯水水面3即可,例如以5 ...
【技术保护点】
一种掩膜版清洗后的干燥方法,其特征在于,包括如下步骤:将洗净的掩膜版(1)固定在夹具(2)上并且全部浸入纯水中,该夹具(2)与慢速运动装置(4)连接从而能将该夹具(2)和掩膜版(1)平稳的慢速提升以脱离水面(3),控制提升的速度在10~70mm/min匀速进行提升直至掩膜版(1)完全脱离纯水水面(3)即可。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版清洗后的干燥方法,其特征在于,包括如下步骤将洗净的掩膜版(I)固定在夹具(2)上并且全部浸入纯水中,该夹具(2)与慢速运动装置(4)连接从而能将该夹具(2)和掩膜版(I)平稳的慢速提升以脱离水面(3),控制提升的速度在10 70mm/min匀速进行提...
【专利技术属性】
技术研发人员:张东玲,
申请(专利权)人:彩虹佛山平板显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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