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本发明涉及一种掩膜版清洗后的干燥方法。其特点是，包括如下步骤：将洗净的掩膜版(1)固定在夹具(2)上并且全部浸入纯水中，该夹具(2)与慢速运动装置(4)连接从而能将该夹具(2)和掩膜版(1)平稳的慢速提升以脱离水面(3)，控制提升的速度在1...该专利属于彩虹（佛山）平板显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过彩虹（佛山）平板显示有限公司授权不得商用。
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