独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜制造技术

本发明专利技术是独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜。其系统主要包含入口端、传动机构、抽真空腔、P.I.N型制程腔、出口端。每个腔体有传动轮轴及真空Pump，制程腔内有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极。本发明专利技术传动机构传片设置在入口端及出口端，其本体为一平台，传动机构传片上有线性马达及履带片。将平台利用线性马达及履带片作动作，此发明专利技术让平台照顺序对台车上的玻璃进行取片，接着平台上滚轮将平台移到台车内，平台作升降动作，将玻璃顶起置在平台上，接着平台回流至传动机构，平台用滚轮将玻璃传入到抽真空腔，随后抽真空及进行P.I.N型制程，完成制程后，以相反方向完成动作。如此可提高镀膜完整度，不易让玻璃受到脏污及损伤，可提高太阳能硅薄膜效率。

【技术实现步骤摘要】
独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜所属
本方法是将薄膜太阳能中的技术核心PECVD的传片技术，当TCO玻璃放置于台车上时，会开始利用传动机构进行传片，让玻璃可以从台车传入到PECVD腔体内，而传动机构需要经过特殊的设计，其要能够进入到台车内部，也要能够作升降及前后移动的特性，如此才可以将TCO玻璃顺利的传到入口端，并可进入到腔体内部抽真空及制程，完成后也需透过这样的传动机构，将镀膜后的玻璃顺利的传入到台车内，这样的设计除了不需要人工搬运玻璃造成破片之外，也可以去除TCO玻璃本身膜面可能受到人为因素或者是环境因素造成膜面脏污而造成镀膜不完整的情形，如此设计可以提高太阳能硅薄膜的稳定性以及镀膜的完整性。
技术介绍
目前，业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，在制作核心PECVD时也有特殊的设计方式，主要是卧式以及直立式为主，当中在业界与学术界常使用的机台模组，是以卧式的设计居多，而在卧式的设计当中，较常遇到的问题则是玻璃传片问题，目前业界中卧式都是使用Robot进行传片，但是Robot本身成本高，且在传片时常会有造成玻璃破片或者 Robot伤及人员的问题，使得在镀膜时危险性提高，另一种方式则是以人力进行传片，但是人力传片常会造成玻璃膜面受到人员触摸而有脏污的情形，会造成镀膜时其膜面会有明显手印，且外观也不美观，因此本专利技术主要设计一组传动机构，让玻璃从台车到进入PECVD腔体的过程中，不需要人员触摸，也不需要像Robot传动有危险性发生，其主要是设计传动机构为一直立式架构，其架构内有一平台，其平台可以透过线性马达及传动轴作升降及前后的动作，而平台上则设有多组滚轮，其滚轮也有 升降功能，其动作为将平台利用升降及前后移动进入到台车内部，随后滚轮上升接触玻璃，随后滚轮将玻璃完整移出到平台上，随后滚轮下降到平台上，再藉由平台作升降及前后移动方式将玻璃传入到抽真空腔体，即完成传片动作，并随后可进行镀膜制程等动作，此方式除了可以避免玻璃在Robot传片的危险性外，也可以避免膜面受到人员触摸脏污的可能，可以提供整体镀膜的稳定性及完整性。
技术实现思路
本专利技术主要目的是独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜。其系统主要包含入口端、入口端传动机构、抽真空腔、P.1. N型半导体制程腔、出口端。在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极，以进行制程。 而本专利技术传动机构传片，则是设置在入口端及出口端处，其主要本体为一平台，在传动机构传片上设有线性马达及履带片，可以让平台可以作上升及下降工作，另外在平台上也设有滚轮轴承，此滚轮轴承可以将玻璃从台车取片出来放置于平台上。因此其专利技术是将平台利用线性马达及履带片作上升及下降动作，此专利技术可以让平台可以照顺序对台车上的玻璃进行取片，而不会造成平台撞到玻璃的可能，接着平台上的滚轮会将平台平移到台车上，然后使平台作升降动作，将玻璃顶起，并放置在平台上，接着平台会回流至传动机构上，平台上升至适当位置可以用滚轮方式将玻璃传入到抽真空腔内，随后抽真空及进行P.1. N型半导体制程，当完成制程后，其玻璃会再利用滚轮传到出口端并放置于平台上，接着平台同样利用履带升降，降到可以将玻璃移到台车位置，随后滚轮轴承将平台伸出至台车内部，并将玻璃放置于台车上，随后平台再回到传动机构上，即完成此动作。如此可以提高膜层镀膜完整度，且不易让玻璃受到脏污及损伤，可以提高太阳能硅薄膜效率。附图说明下面是结合附图和实施例对本专利技术进一步说明图1是本专利技术之动作流程示意图，图2是本专利技术之传动机构传片及入口端示意图，图3是本专利技术之抽真空腔体示意图， 图4是本专利技术之P.1. N型半导体薄膜制程腔示意图，图5是本专利技术之降温破真空腔示意图，图6是本专利技术之传动机构传片及出口端示意图，主要元件符号说明1…台车2…玻璃3···入口端及出口端4…线性马达5…履带片6···传动轮轴7···滚轮8…Slit valve9-SensorlO…抽气 Pumpll…Showerheadl2…气流孔 13…RF power supplyl4…电衆。具体实施方式兹将本专利技术配合附图，详细说明如下所示请参阅第一图，为本专利技术独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中可知，TCO先放置于台车内，随后传动机构传片先下降至可以传送玻璃位置，随后将玻璃传送至平台上，再由传动机构传片上升至入口端内，再由入口端传至抽真空腔、及进行P.1. N半导体制程腔，完成制程后再到破真空腔内，结束后在出口端位置其传动机构传片会下降至可放置台车内位置，再由滚轮传动至台车上，即完成此动作流程。请参阅第二图，此为本专利技术独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中得知， 其台车I上会承载欲镀膜的TCO玻璃2，随后入口端3上面的传片机构传片会开始转动其线性马达4，并会带动履带片5将平台开始下降至可进入台车取玻璃的位置，随后其传动轮轴 6会开始将平台平移进入到台车内部，随后台车上升使其滚轮7可以顶到玻璃，并将玻璃平整放置于平台上，随后传动轮轴将平台平移到入口端，再由履带片上升至可进 入抽真空腔位置，随后其Slit valve 8开启，即可将玻璃传入到抽真空腔体内部。请参阅第三图，此为独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中得知，当Slit valve 8开启后，其玻璃2由滚轮7传入到抽真空腔，随后由sensor 9进行校正定位，并且关闭Slit valve,即可由Pump 10开始进行抽真空，当真空值达底压时,其玻璃可以传入到 P.1. N型半导体制程腔内进行镀膜。请参阅第四图，此为独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中得知，当Slit valve 8开启将TCO玻璃2由滚轮7传到制程腔内时，会先进行定位，随后气体会从气流孔 12传入到Showerhead 11内，并会扩散到整个腔体，由电脑界面进行控压，当压力稳定后则由RF power supply 13开启进行制程,制程结束后,其玻璃再由Slit valve 8开启传到破真空腔内。请参阅第五图，此为使用独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中得知，镀膜后玻璃会在Slit valve 8开启后，由制程腔传到破真空腔内，并会由Sensor 9进行定位,随后破真空到大气，并完成此制程。请参阅第六图，此为使用独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，由图中得知，当镀膜后的玻璃2会由滚轮7传送到出口端3的平台上，随后平台由线性马达4及履带片5 下降至可将玻璃放入到台车I位置，随后传动轮轴6则将平台送入到台车内部，并下压放置玻璃，随后再将平台拉回送到出口端，及完整此次的制程，此专利技术在传动机构上可以保持整片玻璃镀膜的完整性，使其不受到外部的污染影响，且可以提升良率及太阳能硅薄膜电池效率。 以上说明，对本专利技术而言只是说明性的，非限制性的，本领域普通技术人员理解， 在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修正、变化或等效，但都将落入本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其系统主要包含入口端、入口端传动机构、抽真空腔、P.I.N型半导体制程腔、出口端，在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极，以进行制程；而本专利技术传动机构传片，则是设置在入口端及出口端处，其主要本体为一平台，在传动机构传片上设有线性马达及履带片，可以让平台可以作上升及下降工作，另外在平台上也设有滚轮轴承，此滚轮轴承可以将玻璃从台车取片出来放置于平台上；因此其专利技术是将平台利用线性马达及履带片作上升及下降动作，此专利技术可以让平台可以照顺序对台车上的玻璃进行取片，而不会造成平台撞到玻璃的可能，接着平台上的滚轮会将平台平移到台车上，然后使平台作升降动作，将玻璃顶起，并放置在平台上，接着平台会回流至传动机构上，平台上升至适当位置可以用滚轮方式将玻璃传入到抽真空腔内，随后抽真空及进行P.I.N型半导体制程，当完成制程后，其玻璃会再利用滚轮传到出口端并放置于平台上，接着平台同样利用履带升降，降到可以将玻璃移到台车位置，随后滚轮轴承将平台伸出至台车内部，并将玻璃放置于台车上，随后平台再回到传动机构上，即完成此动作；如此可以提高膜层镀膜完整度，且不易让玻璃受到脏污及损伤，可以提高太阳能硅薄膜效率。...

【技术特征摘要】
1.一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其系统主要包含入口端、入口端传动机构、抽真空腔、p.1.N型半导体制程腔、出口端，在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极，以进行制程；而本发明传动机构传片，则是设置在入口端及出口端处，其主要本体为一平台，在传动机构传片上设有线性马达及履带片，可以让平台可以作上升及下降工作，另外在平台上也设有滚轮轴承，此滚轮轴承可以将玻璃从台车取片出来放置于平台上；因此其发明是将平台利用线性马达及履带片作上升及下降动作，此发明可以让平台可以照顺序对台车上的玻璃进行取片，而不会造成平台撞到玻璃的可能，接着平台上的滚轮会将平台平移到台车上，然后使平台作升降动作，将玻璃顶起，并放置在平台上，接着平台会回流至传动机构上，平台上升至适当位置可以用滚轮方式将玻璃传入到抽真空腔内，随后抽真空及进行P.1.N型半导体制程，当完成制程后，其玻璃会再利用滚轮传到出口端并放置于平台上，接着平台同样利用履带升降，降到可以将玻璃移到台车位置，随后滚轮轴承将平台伸出至台车内部，并将玻璃放置于台车上，随后平台再回到传动机构上，即完成此动作；如此可以提高膜层镀膜完整度，且不易让玻璃受到脏污及损伤，可以提高太阳能硅薄膜效...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴嘉男，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：