一种隔离腔室及使用该种隔离腔室制备太阳电池材料的方法技术

本发明专利技术提供了用于连续形成太阳电池材料的装置和方法，其包括降低处于不同压力下的相邻形成区之间的交叉污染的一隔离腔室。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用本申请请求于2010年2月3日提交的序号为61/337，485的美国临时专利申请的权益。
技术介绍
本专利技术针对一种隔离腔室，其用作线内连续制造光伏太阳电池器件的一部分。由于在用以形成太阳电池材料的各个沉积区中存在非常不同的环境条件，因而此种线内连续太阳电池制备是受到限制的。由于沉积区中的不同环境条件，大多数太阳电池材料在一个以上的工艺路线上制得，其中太阳电池材料的各个组分被分开地沉积。例如，太阳电池的半 导体材料在一成形操作中沉积在一基板上，而透明导电顶层在一分开的沉积路线上涂敷在该半导体材料上。利用多个工艺路线形成太阳材料大大地增加了太阳电池材料的生产成本。另外，太阳电池材料的额外处理会导致产生显著地降低完成的太阳电池材料的效率的缺点。因此，在线内连续太阳电池形成工艺的工业中存在一种需求在一个连续的线内工艺中，半导体材料可涂覆于基板上且透明导电材料可被涂敷于该半导体材料上。
技术实现思路
根据本专利技术的一方面，一真空沉积装置包括一基板载入腔室和一基板复卷腔室。一基板支撑装置从基板载入腔室延伸至基板复卷腔室。在一实施例中，真空沉积装置进一步包括一高气压真空沉积腔室和一低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹新民，布莱德利·S·牟林，
申请(专利权)人：美国迅力光能公司，
类型：
国别省市：