MOCVD设备和利用该MOCVD形成白光LED的方法技术

本发明专利技术提出一种MOCVD设备包括本体；分别形成在所述本体中的第一至第五反应腔室，所述第一至第五反应腔室分别用于在晶片上形成第一至第五半导体材料层，其中所述第一至第五半导体材料层和所述晶片组合以形成白光LED；晶片装卸装置，所述晶片装卸装置用于临时存放晶片；和传输装置，所述传输装置设在所述本体内用于在所述第一至第五反应腔室以及所述晶片装卸装置之间传输晶片。根据本发明专利技术的MOCVD设备，成本低、产能效率高。本发明专利技术还提出一种形成白光LED的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种MOCVD (有机金属化学气相沉积)设备和利用该MOCVD设备形成白光LED的方法。
技术介绍
在火、白炽灯、荧光灯之后，LED即将成为人类大规模使用的第四代照明光源。LED具有节能、寿命长等其它光源无可比拟的优点。LED的发光原理是利用了半导体材料(例如，GaP和GaN)中处于激发态的电子向较低能级跃迁过程中会释放光子这一机理，在蓝宝石、GaAs、硅等材料制成的晶片上以化学气相淀积的方法外延生长多层量子阱(MQW)作为发光层。在普通照明应用中，人们最希望得到的是接近于太阳光的白光，白光是由多种单色光复合而成的，在LED照明应用中，得到白光LED的途径主要有第一、单色LED涂覆荧光粉，例如在蓝光LED上涂覆黄色荧光粉，或者紫外LED上涂覆黄绿蓝多色荧光粉，从而产生出多种单色光，通过多种单色光的复合产生白光；第二、多个单色LED芯片(例如黄、绿、蓝)封装到一个照明器件中，复合后发出白光；第三、在一个LED芯片上外延生长多个发光层，分别发出黄、绿、蓝多种单色光，复合后发出白光。第三种方法是通常利用MOCVD设备进行。但传统的MOCVD设备只能用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MOCVD设备，其特征在于，包括：本体；第一至第五反应腔室，所述第一和第五反应腔室分别形成在所述本体中，所述第一反应腔室用于在晶片上形成第一半导体材料层，所述第二反应腔室用于在所述第一半导体材料层上形成第二半导体材料层，所述第三反应腔室用于在所述第二半导体材料层上形成第三半导体材料层，所述第四反应腔室用于在所述第三半导体材料层上形成第四半导体材料层，所述第五反应腔室用于在所述第四半导体材料层上形成第五半导体材料层，其中所述第一至第五半导体材料层和所述晶片组合以形成白光LED；晶片装卸装置，所述晶片装卸装置用于临时存放晶片；和传输装置，所述传输装置设在所述本体内用于在所述第一至第五反应腔室以...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀川，徐亚伟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：