温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出一种MOCVD设备包括本体；分别形成在所述本体中的第一至第五反应腔室，所述第一至第五反应腔室分别用于在晶片上形成第一至第五半导体材料层，其中所述第一至第五半导体材料层和所述晶片组合以形成白光LED；晶片装卸装置，所述晶片装卸装置用...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。