【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电领域，尤其涉及一种。
技术介绍
目前，红外焦平面探测器的倒装互连从原理上可以分为两种一种是只在读出电路端生长铟柱的单铟柱互连；另一种是探测器端和读出电路端均生长铟柱的双面铟柱互连。对大面阵器件而言，原来的单独读出电路端的铟柱高度已经不足以弥补探测器和读出电路压焊在一起时机器本身在对准调平尤其是施加压力时的空间不平行度和力的不均匀性。而必须采用在探测器端也生长铟柱的双面铟互连方式来增加铟柱高度，增大互连不平行度容差以实现成功互连。 原来探测器端没有生长铟柱，在划片完的洗片工艺中可以使用棉花擦拭器件背面以清除原来粘接所使用的石蜡。而在探测器端生长铟柱后，原来的划片洗片方式对探测器进行擦拭，会损伤正面的铟柱。
技术实现思路
鉴于上述的分析，本专利技术旨在提供一种，用以解决现有石蜡粘贴后清洗时对探测器造成损伤的问题。本专利技术的目的主要是通过以下技术方案实现的一种，该方法包括将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶，并进行固化；在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶；将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上；用预定曝光量值的紫...
【技术保护点】
一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法，其特征在于，包括：将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶，并进行固化；在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶；将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上；用预定曝光量值的紫外线照射所述宝石片衬底，使所述探测器通过紫外固化粘接胶固定在所述宝石片衬底上；划片结束后，将所述探测器和所述宝石片衬底置于丙酮溶液中进行加热脱附。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王宪谋，张敏，谢珩，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：
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