The invention relates to an uncooled infrared detector, including bridge deck, bridge leg, anchor pillar and substrate, including at least one layer of auxiliary infrared absorption layer, each of the auxiliary infrared absorption layer on the upper surface of the deck stacked layout. On the top of the deck additional auxiliary infrared absorption layer, which cooperates with the infrared absorption layer of bridge deck, can effectively improve the infrared thermal detector of radiation absorption ability, so as to improve the detector temperature response and reduce the rate of NETD. The auxiliary infrared absorption layer can be made of titanium or titanium nitride or titanium type infrared multilayer structure layer, a layer of titanium nitride and non metal material layer, absorbing layer, composite material, titanium or titanium nitride and non metal material combination, can effectively improve the infrared absorption.
【技术实现步骤摘要】
非制冷红外探测器及其制备方法
本专利技术涉及一种非制冷红外探测器及一种非制冷红外探测器的制备方法,尤其涉及一种可提高红外吸收率的非制冷红外探测器。
技术介绍
现有的非制冷红外探测器的红外吸收能力普遍都不够强,从而影响红外探测器的探测能力及应用范围,尤其是在一些要求观测温度细微变化的场合,比如精确测温使用等,低分辨的探测器无法区分微小的温度差异,导致使用受到限制,鉴于此原因,高分辨率探测器由于有较高的响应率和较低的NETD可以满足这样的应用,所以其研究也变得迫在眉睫。
技术实现思路
本专利技术实施例涉及一种非制冷红外探测器及一种非制冷红外探测器的制备方法,至少可解决现有技术的部分缺陷。本专利技术实施例涉及一种非制冷红外探测器,包括桥面、桥腿、锚柱及衬底,还包括至少一层辅助红外吸收层,各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。作为实施例之一,各所述辅助红外吸收层均包括钛层和氮化钛层的至少一种。作为实施例之一,各所述辅助红外吸收层还包括二氧化硅层、氮氧化硅层、氮化硅层、碳化硅层中的至少一种;各材料层依次层叠构成一多层结构式的辅助红外吸收层。作为实施例之一,所述辅助红外吸收层为两层,其中一层由厚度在的钛层构成,另一层由厚度在的氮化硅层构成。作为实施例之一,各所述辅助红外吸收层的材料均为非化学计量比的组合材料,组合材料中包括钛与氮化钛的至少一种,还包括二氧化硅、氮氧化硅、氮化硅、碳化硅中的至少一种。作为实施例之一,所述桥腿的一端与所述桥面连接,另一端通过所述锚柱支承在所述衬底上;所述衬底为读出集成电路衬底,所述衬底上表面上设置有红外辐射反射层。作为实施例之一,所 ...
【技术保护点】
一种非制冷红外探测器,包括桥面、桥腿、锚柱及衬底,其特征在于:还包括至少一层辅助红外吸收层,各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。
【技术特征摘要】
1.一种非制冷红外探测器,包括桥面、桥腿、锚柱及衬底,其特征在于:还包括至少一层辅助红外吸收层,各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。2.如权利要求1所述的非制冷红外探测器,其特征在于:各所述辅助红外吸收层均包括钛层和氮化钛层的至少一种。3.如权利要求2所述的非制冷红外探测器,其特征在于:各所述辅助红外吸收层还包括二氧化硅层、氮氧化硅层、氮化硅层、碳化硅层中的至少一种;各材料层依次层叠构成一多层结构式的辅助红外吸收层。4.如权利要求2所述的非制冷红外探测器,其特征在于:所述辅助红外吸收层为两层,其中一层由厚度在的钛层构成,另一层由厚度在的氮化硅层构成。5.如权利要求1所述的非制冷红外探测器,其特征在于:各所述辅助红外吸收层的材料均为非化学计量比的组合材料,组合材料中包括钛和/或氮化钛,还包括二氧化硅、氮氧化硅、氮化硅、碳化硅中的至少一种。6.如权利要求2至5中任一项所述的非制冷红外探测器,其特征在于:所述桥腿的一端与所述桥面连接,另一端通过所述锚柱支承在所述衬底上;所述衬底为读出集成电路衬底,所述衬底上表面上设置有红外辐射反射层。7.如权利要求6所述的非制冷红外探测器,其特征在于:所述桥面包括由下至上依次设置的热敏感层和桥面红外吸收层;或包括由下至少依次设置的下层桥面红外吸...
【专利技术属性】
技术研发人员:马占锋,黄立,高健飞,
申请(专利权)人:武汉高芯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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