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非制冷红外探测器及其制备方法技术
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文档序号:15450286
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本发明涉及一种非制冷红外探测器,包括桥面、桥腿、锚柱及衬底,还包括至少一层辅助红外吸收层,各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。本发明通过在桥面顶部额外增加辅助红外吸收层,其与桥面的红外吸收层配合,可有效提高探测器的红外热辐射吸...
该专利属于武汉高芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉高芯科技有限公司授权不得商用。
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