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本发明公开了一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法,该方法包括:将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶,并进行固化;在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶;将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上;用预定曝光...该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法,该方法包括:将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶,并进行固化;在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶;将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上;用预定曝光...