单片式共享高电压漏极的高电流晶体管和低电流晶体管制造技术

技术编号:8490811 阅读:440 留言:0更新日期:2013-03-28 17:36
本发明专利技术提供一种平面单片式高电压集成电路,包含具有一高电压扩散连接的功率场效应晶体管和/或双极功率晶体管。该高电压集成电路还包含几种类型的高电压、低电流场效应晶体管,例如耗尽型晶体管和/或增强型晶体管,和/或高电压-低电流双极晶体管。所述高电压-低电流晶体管以不同的结合方式通过共享他们的高电压扩散连接集成于所述高电压-高电流晶体管或功率晶体管结构中,其在减小芯片面积的同时也增强了设计的通用性。隔离扩散结构和掩埋扩散结构提供较高的工作电压和/或增强的耗尽型场效应晶体管关断。高电压-低电流绝缘栅场效应晶体管的体区和/或双极晶体管的基区与接地隔离扩散区或者隔离、或者连接,进一步改善了设计通用性。??

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路,更具体而言,本申请涉及一种具有功率场效应晶体管和/或双极功率晶体管的平面单片式高电压集成电路,所述功率场效应晶体管和/或双极功率晶体管具有高电压扩散连接。
技术介绍
在一些应用中,高电压集成电路在单一整片的集成模块上,典型地既包含高电压 晶体管也包含低电压晶体管。高电压晶体管为承受所施加的大电压而具有比低电压晶体管大的尺寸,这适用于所有高电压晶体管,无论其传输高电流还是传输低电流,否则,高电压晶体管可能会有问题,例如结击穿或材料击穿,其导致集成电路中产生不可控电流。该不可控电流可能导致较差的可靠性、甚至致命故障。由于包含多个、大型(large)高电压晶体管而导致的较大芯片面积会产生较高的芯片成本和较低的良率。高电压-低电流晶体管,尽管宽度比高电压-高电流晶体管(有时称为功率晶体管)小,但如果像传统的独立晶体管一样设计,仍然会因为高电压扩散需要的尺寸而占用相对大的芯片面积。因此,在集成电路中,高电压晶体管通常会比低电压晶体管少,甚至有时只有一个高电压晶体管。在这些应用的一些子类(sub-group)中,高电压会分别利用开集或开漏的结构、通过高电压-高电流双极晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面单片式高电压集成电路包含:在一第二导电类型的一半导体衬底上的一第一导电类型的一半导体区,该半导体区与所述半导体衬底形成一p?n结;在所述半导体区中的所述第一导电类型的一第一扩散区,所述半导体区在所述第一扩散区和所述半导体衬底之间垂直延伸;一第一场效应晶体管包含:????一第一栅极;????位于所述半导体区上方并且位于所述第一栅极和所述半导体区之间的一第一栅极介电层,该第一栅极介电层具有一第一边界和一第二边界;????在所述半导体区中的所述第二导电类型的一第一体区,其中第一体区:????????在第一栅极介电层的第一边界与部分第一栅极介电层重叠;????????与所述半导体区形成一p?n...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:庞纳斯·乔
申请(专利权)人:普缘芯半导体科技上海有限公司普缘芯半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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