快速升降温退火炉制造技术

本发明专利技术公开了一种快速升降温退火炉，包括炉体，炉体包括支座以及沿支座上的滑轨左右移动的加热腔体，加热腔体内贴附有聚轻纤维保温内衬并设置有加热器，在加热腔体一侧的支座上固定有工件托架，工件托架的前部延伸设置有工件托放平台。在聚轻纤维保温内衬上涂覆有超高温涂层。加热腔体和工件托架之间的支座上设置有沿支座滑轨左右移动的石英反应腔体；工件托架后部开设有与石英反应腔体内部相连通的进气口和与外部抽真空设备相连通的出气口。本发明专利技术的优点在于加热腔体内贴附整体氧化铝聚轻纤维保温内衬，工作时较传统炉体节能70%，升降温速率最快可达≤500℃/S，省却了水冷系统，降低了设备制造成本和生产成本，扩大了设备应用范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件的快速热处理设备，尤其是涉及一种快速升降温退火炉。
技术介绍
目前在半导体器件的研发和生产领域，在欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长、铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其他快速热处理工艺中，快速升降温大多采用造价及维护成本高昂的红外灯管、金属固定内腔、水冷却结构的升降温热处理炉。由于升降温设备及设计工艺的局限性，升降温速率只能控制在< 200°C /S，能耗非常大；由于现有所用的热处理设备结构所限，使得生产工艺的设计较为单一，一些条件稍微受限的研究生产环节就不能采用该工艺进行生产
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种升降温速率高、造价及维护成本低的快速升降温退火炉。为实现上述目的，本专利技术可采取下述技术方案 本专利技术所述的快速升降温退火炉，包括炉体，所述炉体包括支座以及沿所述支座上的滑轨左右移动的加热腔体，所述加热腔体内贴附有整体氧化铝聚轻纤维保温内衬并设置有环形红外中波加热器，在所述加热腔体一侧的支座上通过托板固定设置有工件托架，所述工件托架的前部延伸设置有工件托放平台。所述加热腔体内贴附的整体氧化铝聚轻纤维保温内衬上涂覆有高反射率的超本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种快速升降温退火炉，包括炉体，其特征在于：所述炉体包括支座（1）以及沿所述支座（1）上的滑轨（2）左右移动的加热腔体（3），所述加热腔体（3）内贴附有整体氧化铝聚轻纤维保温内衬（4）并设置有环形红外中波加热器（5），在所述加热腔体（3）一侧的支座上通过托板（6）固定设置有工件托架（7），所述工件托架（7）的前部延伸设置有工件托放平台（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋风宽，
申请(专利权)人：河南诺巴迪材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：