【技术实现步骤摘要】
一种用于光罩定位的机械臂
本技术涉及一种半导体器件生产
，特别是涉及一种用于光罩定位的机械臂。
技术介绍
随着社会经济的发展，人类生活已经进入了数字化时代，众多的数字化产品给人们带来方便的同时，也让人得以享受高科技的文明进步成果，比如，电脑、手机、汽车、影音设备等与我们生活息息相关的产品。而这一切都源于集成电路技术的飞速发展。现有集成电路的生产包括一系列工艺，其中，光刻是制造半导体器件和大规模集成电路的关键工艺之一。它是利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀的方法，将光罩上的电路图形传递到涂有光刻胶的单晶表面或介质上，以便形成有效图形窗口或功能图形。 在集成电路制备过程中，将光罩由存储柜(例如，DMS reticle stocker)中取出或存入通常都是依靠机械臂。图I示出了一种现有机械臂。该机械臂前端两分支上分别设置有一个定位部件 (即pin)b，用于卡固光罩。由于该定位部件固定在机械臂上，一旦光罩受到撞击或者挤压， 就容易被挤破或者从机械臂上掉落下来。而一旦光罩受损，重新生产和验证光罩需要相当长的时间，这样将会给生产带来很大损失。而且，在一些集成...
【技术保护点】
一种用于光罩定位的机械臂，其特征在于，所述用于定位光罩的机械臂至少包括：机械臂本体；设置在所述机械臂本体上且用于固定光罩的定位件；设置在所述机械臂本体上的连接件，其与所述定位件相连接，并能使所述定位件在活动空间移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡文祥，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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