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本实用新型提供一种用于光罩定位的机械臂。所述用于光罩定位的机械臂至少包括：机械臂本体；设置在所述机械臂本体且用于固定光罩的定位件；固定在所述机械臂本体上的连接件，其与所述定位件相连接，并能使所述定位件在活动空间移动。本实用新型的定位件能在连...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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