【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于以应力消除方式从玻璃、玻璃陶瓷或半导体制造穿孔工件的方法。
技术介绍
通过借助于局部电热加热直至材料挥发以使得在电介质中产生待形成的孔，可以对诸如塑料、半导体或玻璃的介电材料的箔或薄片进行穿孔。在所述穿孔点，进行所述材料的局部加热以局部降低击穿电场强度。那么如果越过所述材料施加合适频率或脉冲形状的高压电场，则将导致击穿并且电流将流过所述材料。如果和半导体、玻璃、玻璃陶瓷和许多塑料的情况一样，所述材料随温度在电导率方面显示出足够大的增加，则这导致在所述材料中击穿沟道的“电热自聚焦”:其中所述材料更热，所述电流密度也增加并且继续进一步局部加热所述材料直至它挥发，并且所述蒸气基本上“轰开”所述穿孔。文献WO 2009/059768 Al和WO 2009/074338 Al描述了通过向预定穿孔点选择性供给热能并施加电场以产生由电流和功率调制元件所限定的电流从而在电绝缘基底中制造穿孔。不对整个工件进行加热。从DE 10 2007 062 979 Al可知用于制造具有改进抗热震性的玻璃制品的方法， 所述玻璃制品即作为炊具的内部板材的玻璃板。通过用局部热源扫...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：库尔特·纳特尔曼，乌尔里希·珀什尔特，
申请(专利权)人：肖特公开股份有限公司，
类型：
国别省市：
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