模块化结构真空涂覆系统技术方案

本发明专利技术涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围中，使基底在基座传送区中移动通过腔，其具有如下问题：降低在对真空涂覆系统供应介质中所涉及的生产相关的以及安装相关的支出。该问题由功能腔解决，该功能腔作为第一子模块被布置在设置有外接口的模块中，该外接口对于至少一个第二模块是相同的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围上，使基底在基底传送区中移动通过所述腔。
技术介绍
真空涂覆系统由功能部和物理部限定。该物理部限定真空涂覆系统的可见配置。物理配置不必对应于功能配置。真空涂覆系统I的物理部的部分是系统腔2和段3，诸如在图I和图2中图示的。为了区别物理部和功能部，(物理)腔被设计为系统腔2。以物质上一体化方式连接并且含有加强元件4的结构单元被称为真空涂覆系统·的系统腔2。墙壁5被连接到加强元件4，所述墙壁5围绕真空空间6。墙壁5由腔底板、腔壁和腔顶板形成。墙壁5也可以由铺设在密封表面上的盖子形成。系统腔2的加强元件4可以位于真空空间6的内侧，如图I中图示的。因此，系统腔2的至少一部分伸入到真空空间6中。相应地，如下解决方案也是已知的在这些方案中，系统腔2构成一种“骨架”的结构单元，由于这些加强元件被布置在真空空间6的外侧，所以该结构单元在真空空间中无需加强元件4。多个系统腔2照惯例能够借助于可释放的连接件、通常经由腔凸缘彼此连接。每个系统腔2可以因此具有专用的真空空间。相互相邻的真空空间的真空也可以相互合并并且因此形成单元。由横向于真空涂覆系统的纵向范围固定在真空空间6中的壁7限定并且位于真空空间6的内部的部分被称为段3。在一个段3中基本上执行一个功能的范围内，也可以通过其主要起到的功能的命名来命名这些段，诸如过程段、泵送段、涂覆段等。该功能部描述由真空涂覆系统的各个部分的功能所确定的配置。该功能部未必可见。该功能部的部分是腔8和室9，如图3中图示的。腔8是在一个或更多个连接的物理系统腔2的范围内具有一个或更多个互动功能的单元。也可以通过其主要起到的功能的命名来命名功能部的腔8，诸如过程腔。由于所有的腔8用于容纳真空，所以它们也可以被总体上称为真空腔。也可由其功能的命名来命名室9，例如为泵送室、溅射室、气体分离室等。室9是在纵向延伸的真空涂覆系统的腔8的内部的功能单元，功能明确地归属于该功能单元，并且该功能单元与其它这样的功能单元沿着真空涂覆系统的纵向范围接连地布置。室9优选地具有相同的长度。室9可以被形成在基底传送区的上方或下方，或者被形成为包含该基底传送区。3-腔系统或5-腔系统的配置将作为功能部的示例被给出如图4中图示的3-腔系统由如下部分构成-第一(功能)腔10，确切地讲，(在物理系统腔2中的)入口锁室Cl，-第二(功能)腔11，其本身由如下部分构成-(在物理系统腔2中的)第一转移腔C3，_(在一个或更多个物理系统腔2中的)过程腔C4. I和可能的进一步的过程腔C4. x至C4. n,以及-(在物理系统腔2中的)第二转移腔C5，以及 -第三(功能)腔12，确切地讲，(在物理系统腔2中的)出口锁室C7。如图5中图示的5-腔系统由如下部分构成-第一(功能)腔13，确切地讲，(在物理系统腔2中的)入口锁室Cl，-第二(功能)腔14，确切地讲，(在物理系统腔2中的)第一缓冲腔C2，-第三(功能的)腔15，其本身构成如下-(在物理系统腔2中的)第一转移腔C3，-(在物理系统腔2中的)过程腔C4.I或可能的进一步过程腔C4. X至C4. n，以及-(在物理系统腔2中的)第二转移腔C5，-第四(功能)腔16，确切地讲，(在物理系统腔2中的)第二缓冲腔C6，以及-第五(功能)腔17，确切地讲，(在物理系统腔2中的)出口锁室C7。必须向所有的腔10至腔17提供不同的介质。具体地，这样的介质是真空、压缩空气、气体、水、电流和数据。取决于系统，各种介质供应部被全部地合并或部分地合并。因此，可以为整个系统合并电流源并且可以从该电流源向每个单独的腔10至腔17供电。从中央供水部等对需要供水的腔供给。在这种情况下的缺点是，对于每个真空涂覆系统来说必须单独地计划和改变介质供应部，因此在生产和安装方面造成高支出。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是降低在真空涂覆系统的介质供应部中的生产和安装方面的支出。借助于具有权利要求I的特征的真空涂覆系统来实现这个目的。权利要求2至8详细说明根据本专利技术的解决方案的改进。因此，功能腔作为第一子模块被布置在模块中，所述模块设置有外接口，所述外接口对于至少一个第二模块来说相同。由于可以在模块本身中实现单独的设置，所以这样的接口配置使得可以制造完全作为单元的模块。这些模块具有相同的向外配置。在这种情况下，存在如下可能性将接口设计成对该第一子模块供应至少一种介质的介质接口。然而，为在接口处的其它介质提供连接可能性也是权宜之计，即使在模块中不需要这些。这使得遍及整个真空涂覆系统任何部分的接口的一致。术语“介质”在此处应理解为被传送至模块或从模块排出的所有东西，具体地，数据、切换信号、安全信号、水、电能或气体。内部介质分布可以优选地被实现，因为在该模块中已经布置有第二子模块，在每种情况下，该第二子模块充当第一子模块的介质供应部，并且第二子模块设有对于所有模块来说完全相同的外介质接口。优选地，介质线路被布置成连续地通过整个真空涂覆系统，模块借助于其第二子模块经由第二子模块的外介质接口连接到该介质线路。在这种情况下，存在如下可能性仅仅通过在模块处不被需要的介质循环。如已经限定的，介质可以具有许多不同的种类。因此，在一个改进中，第二子模块的接口具有至少从如下的组到介质线路的连接部，所述组包括数据总线、应急/断开回路、安全回路、水线路、电流供应线路和气体线路。 模块化设置可优选地被继续，因为它不仅被限制于介质。因此，可提供用于将接口设计为连接接口，所述连接接口将第一子模块连接到相邻模块的第一子模块。这样的连接接口可以具有纯粹机械设计，例如作为在两个系统腔之间的凸缘或作为在位于每个腔中的传送系统的部件之间的接口。在这种情况下，模块也可以具有至少两个接口，确切地讲具有第一接口和第二接口，所述第一接口被设计成介质接口，所述第二接口被设计成连接接口。因此，可以产生完全独立的模块。对于中央供应任务，例如，对于中央介质源或系统计算机的安装，可能是的，总模块被布置，所述总模块对真空涂覆系统的多个模块供应一种或更多种介质。附图说明下面将借助于示例性实施例更详细地解释本专利技术。在所附的附图中图I示出根据现有技术的带有内部系统腔的真空涂覆系统的物理部，图2示出根据现有技术的带有外部系统腔的真空涂覆系统的物理部，图3示出根据现有技术的真空涂覆系统的功能部，图4示出根据现有技术的3-腔系统的图解图示，图5示出根据现有技术的5-腔系统的图解图示，图6示出根据本专利技术的模块，图7不出根据本专利技术的带有子模块的模块，图8示出根据本专利技术的带有腔作为第一子模块的模块，所述腔被划分成室，图9示出形成真空涂覆系统的模块的组件，图10示出总模块的图解布置，图11示出多级别模型的图示，以及图12示出根据本专利技术的完整真空涂覆系统的图示。具体实施例方式图I至图5示出根据现有技术的真空涂覆系统1，如以上图示的。一定模块化类型的配置已经以如下方式被实施该配置被细分为腔8和室9，并且，例如，试图将腔8配置成具有与图4和图5中图示的相同的长度，以便因此在部件方面达到较高程度的可重复性。根据本专利技术，功能腔8被布置为在模块19中的第一子模块18，该模块19设置有对于其它本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马蒂亚斯·斯莫克，马蒂亚斯·克鲁斯，安德烈·沃尔夫，约翰内斯·施特罗姆费尔，
申请(专利权)人：冯·阿德纳设备有限公司，
类型：
国别省市：