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本发明涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围中，使基底在基座传送区中移动通过腔，其具有如下问题：降低在对真空涂覆系统供应介质中所涉及的生产相关的以及安装相关的支出。该问题由功...
该专利属于冯·阿德纳设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冯·阿德纳设备有限公司授权不得商用。

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