【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机械制造领域的机械结构，尤其是适用于一种可调整真空度的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机镀氧化物材料时，需往真空腔体内通入适量的反应气体，同时需要将真空腔体的真空度控制在一定水平，以达到最佳的镀膜条件。由于真空腔体与低温泵相连，通入的反应气体部分被低温泵吸收，若要降低真空度则需加大通入的反应气体，从而导致低温泵吸收的气体过多，引起低温泵冷端饱和，降低了低温泵的使用周期。
技术实现思路
为了克服现有技术中真空镀膜机镀氧化物材料时低温泵吸入气体过多导致其使·用周期降低的问题，本技术提供一种在控制反应气体通入量的同时能控制进入低温泵的气体量的可调整真空度的真空镀膜机。本技术采用的技术方案是一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，其特征在于还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。进一步，所述真空腔体与所述插板阀之间设有冷井。将真空腔体的真空规信号通过工控机信号处理后，控制插板阀的开口度。在抽真空时，将插板阀开启到最大位置，以使真空腔体在最快时间内达到所要求的真空度。当需要进行氧化物材料的蒸镀时，工控机控制质量流量控制器通入适量的反应气体；通过插板阀的开口度控制真空腔体内的真空度。既保证了反应气体的量，又保证了真空度，而低温泵的使用周期也没有受到影响。本技术的有益效果体现在在保证工作效率的情况下，可以将真空腔体的真空度控制在一定范围，而不影响低温泵的使用周期；由于镀膜条件一致，使镀膜参数保持稳定。附图说明图I是本技术真空镀膜机的整体结...
【技术保护点】
一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，其特征在于：还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘黎明，陈军，关永卿，洪婧，陈虹飞，田俊杰，汪文忠，邓凤林，郑栋，将卫金，赵山泉，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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