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一种可调整真空度的真空镀膜机制造技术
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下载一种可调整真空度的真空镀膜机的技术资料
文档序号:8260093
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本实用新型公开了一种可调整真空度的真空镀膜机,包括真空腔体和低温泵,特点是还包括可控制开口度的插板阀,所述插板阀包括阀体和阀板,所述阀体和阀板密封连接,所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接,另一端与所述低温泵的冷端固定连接。本实用新型在保证...
该专利属于杭州大和热磁电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州大和热磁电子有限公司授权不得商用。
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