【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用激光制备纳米金属颗粒的方法,其特征在于它是通过以下步骤实现的:一、采用溅射、蒸镀或化学气相沉积方法在透明基板表面,制备一层厚度为10nm~500nm的金属薄膜,其中金属薄膜材料为Au、Cu、Ag、Pd或Cr,透明基板为石英;二、将附着金属薄膜的透明基板放置于惰性气体舱中,并充入纯度≥99.99%的Ar气,当惰性气体舱中Ar气的压力达到1×104Pa~1×106Pa后停止充气,其中惰性气体舱的上表面材质为石英玻璃;三、启动激光器发出激光束透过惰性气体舱的上表面和透明基板照射到金属薄膜表面上,扫描过程沿惰性气体舱的横向方向或纵向方向进行,激光器扫描轨迹为间距相等且彼此平行的一组直线,线间距为0.1mm~2mm,激光器扫描移动速度为0.1m/min~10m/min,其中激光器脉冲功率为100W~3000W,激光脉冲宽度为1×10?9ms~10ms,激光频率范围为1~100HZ,激光束的焦斑直径为0.1mm~2mm,激光束波长为1064nm,激光器为YAG激光器、CO2激光器或准分子激光器;四、金属薄膜受热蒸发变成气态纳米金属颗粒,从透明基板上脱离,向惰性液体喷射,气态纳米金属颗粒与惰 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘威,王春青,田艳红,安荣,孔令超,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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