【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜机，特别涉及一种可以精确控制镀膜厚度的镀膜机。
技术介绍
现有的镀膜机是采用光控的膜厚控制仪来控制膜层的厚度，它的原理是利用光的干涉来监测膜厚，当光亮最小的时候，膜厚达到设定波长的1/4的光学厚度。这种技术不能控制非规整的膜厚，这是由于非规整的膜厚用光控的方法控制时，还没有走到极值就必须要判停，不能达到所需要的膜厚；而且光控不能控制很薄的膜厚；同时，光控的操作重复性较差，不能精确地保证每次镀膜的厚度一致
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种镀膜机，以达到可以精确控制镀膜的厚度的目的。为达到上述目的，本技术的技术方案如下一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连。优选地，所述传感器内部横向设有一水晶片。通过上述技术方案，本技术提供的镀膜机在镀膜伞的中心位置处设有传感器，且该传感器与精密膜厚控制仪相连，能够实现膜厚的高精度控制，确保膜厚的控制性...
【技术保护点】
一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许峰，
申请(专利权)人：苏州市博飞光学有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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