【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜机,特别涉及一种可以精确控制镀膜厚度的镀膜机。
技术介绍
现有的镀膜机是采用光控的膜厚控制仪来控制膜层的厚度,它的原理是利用光的干涉来监测膜厚,当光亮最小的时候,膜厚达到设定波长的1/4的光学厚度。这种技术不能控制非规整的膜厚,这是由于非规整的膜厚用光控的方法控制时,还没有走到极值就必须要判停,不能达到所需要的膜厚;而且光控不能控制很薄的膜厚;同时,光控的操作重复性较差,不能精确地保证每次镀膜的厚度一致
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供了一种镀膜机,以达到可以精确控制镀膜的厚度的目的。为达到上述目的,本技术的技术方案如下一种镀膜机,包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞,所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源,所述镀膜伞中心位置处设有传感器,所述传感器与精密膜厚控制仪相连。优选地,所述传感器内部横向设有一水晶片。通过上述技术方案,本技术提供的镀膜机在镀膜伞的中心位置处设有传感器,且该传感器与精密膜厚控制仪相连,能够实现膜厚的高精度控制,确保膜厚的控制性能可靠稳定。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图I为本技术实施例所公开的一种镀膜机的示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本技术提供了一种镀膜机,如图I所示的结构示意图,该镀膜机可以精确控制镀膜的厚度,性能稳定可靠。所述镀膜机,包括真空腔室I、电机2、 ...
【技术保护点】
一种镀膜机,包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞,所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源,其特征在于,所述镀膜伞中心位置处设有传感器,所述传感器与精密膜厚控制仪相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:许峰,
申请(专利权)人:苏州市博飞光学有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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