固体摄像器件和电子设备制造技术

一种能够防止图像质量下降的固体摄像器件和电子设备，所述固体摄像器件包括光接收层和快门层。光接收层具有光电转换部，所述光电转换部以平面状态布置且配置为将接收光转换为电信号。快门层配置为控制待入射至光接收层上的光的透射。在固体摄像器件中，光接收层和快门层之间的间隔小于或等于形成于快门层中的快门元件的长度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种固体摄像器件和一种电子设备，具体来说，涉及一种能够防止图像质量下降的固体摄像器件和电子设备。
技术介绍
一般来说，诸如CMOS (互补金属氧化物半导体)图像传感器和CXD (电荷耦合器件)图像传感器的固体摄像器件广泛应用于数码相机、数码摄像机等中。例如，用作像素的光电转换部的PD (光电二极管)对入射至CMOS图像传感器上的入射光进行光电转换。随后，将ro所生成的电荷经由传输晶体管以传输给用作浮动扩散区的FD(浮动扩散部)，并且放大晶体管输出与FD中累积的电荷对应的电平的像素信号。近年来，进行了各种研发以使得固体摄像器件小型化且提高其分辨率。例如，本申请人研发了能够逐个像素地控制入射至每个像素上的光的透射的固体摄像器件(例如，参照日本专利特开2004-14802号公报)。参照图I，说明能够逐个像素地控制光的透射的固体摄像器件。图I所示的固体摄像器件11具有从其下层侧开始依次相互层叠的半导体基板12、布线层13、快门层14以及OCL(片上透镜)层15。在固体摄像器件11中，在半导体基板12中形成有多个H)(光电二极管)16，并且在布线层13中形成有布线17。在图I中，图示了两个相邻的PD16A和TO16B附近的横截面，并且布线层13具有两层构造，这两层构造由设有布线17-1的层和设有布线17-2的层形成。而且，在固体摄像器件11中，快门层14针对具有各自roi6的每个像素而控制光的透射。在图I的例子中，使对应于roi6A的快门层14进入遮光状态，而使对应于TO16B的快门层14进入透射状态。同时，当光从斜向入射至固体摄像器件11上时，存在光从相邻像素经由布线层13入射的可能性。即，半导体基板12和快门层14之间的厚度大于或等于预定厚度的布线层13的布置导致来自斜向的光直接地或被布线17-1和布线17-2反射后而入射至相邻像素上。例如，如图I所示，穿过对应于Η)16Β的快门层14的光可由Η)16Α接收。如上所述，在相关技术中的能够逐个像素地控制光的透射的固体摄像器件中，存在使光入射至相邻像素中的可能性。因此，导致混色而使图像质量下降。从而，须要防止混色的发生以及图像质量的下降。
技术实现思路
鉴于上述情况而提出本专利技术，因此，本专利技术期望防止图像质量的下降。根据本专利技术的一个实施方式，提供了一种包括光接收层和快门层的固体摄像器件。光接收层具有光电转换部，所述光电转换部以平面状态布置且配置为将接收光转换为电信号。快门层配置为控制待入射至光接收层上的光的透射。在固体摄像器件中，光接收层和快门层之间的间隔小于或等于形成于快门层中的快门元件的长度。根据本专利技术的另一实施方式，提供了一种包括固体摄像器件的电子设备。固体摄像器件具有光接收层和快门层。光接收层具有光电转换部，所述光电转换部以平面状态布置且配置为将接收光转换为电信号。快门层配置为控制待入射至光接收层上的光的透射。在固体摄像器件中，光接收层和快门层之间的间隔小于或等于形成于快门层中的快门 元件的长度。在本专利技术的实施方式中，将光接收层和快门层之间的间隔设定为小于或等于形成于快门层中的快门元件的长度，所述光接收层具有以平面状态布置且配置为将接收光转换为电信号的光电转换部，所述快门层配置为控制待入射至光接收层上的光的透射。根据本专利技术的实施方式，可防止图像质量的下降。附图说明下面，通过参照附图以详述最佳实施方式，则更易于理解本专利技术的所述及其它目的、特征和优点，在所述附图中图I为相关技术中的能够逐个像素地控制光的透射的固体摄像器件的横截面图；图2为表示根据本专利技术所适用的固体摄像器件的实施方式的配置例的框图；图3为表示固体摄像器件的第一配置例的横截面图；图4为说明固体摄像器件的制造方法的图；图5为说明固体摄像器件的另一制造方法的图；图6为表示固体摄像器件的第二配置例的横截面图；图7为说明固体摄像器件的制造方法的图；图8A 图SC为表示固体摄像器件的第三配置例的横截面图；图9A和图9B为表示固体摄像器件的第四配置例的横截面图；图IOA和图IOB为表示固体摄像器件的第五配置例的横截面图；图IlA和图IlB为说明其中仅控制绿光透射的固体摄像器件的状态的图；图12为表示固体摄像器件的第六配置例的横截面图；图13A和图13B为说明根据光入射角以调整快门层的图；图14A和图14B为表示固体摄像器件的第七配置例的横截面图；图15A 图15C为说明相位差自聚焦的图；并且图16为表示电子设备中安装的摄像装置的配置例的框图。具体实施例方式下面，参照附图，详述本专利技术所适用的具体实施方式。图2为表示本专利技术所适用的固体摄像器件的实施方式的配置例的框图。在图2中，固体摄像器件21具有像素部22、垂直驱动部23、列处理部24、水平驱动部25、输出部26、驱动控制部27以及快门驱动部28。像素部22具有以阵列状排列的多个像素31。各像素31经由与各像素31的行数对应的多个水平信号线而连接至垂直驱动部23，并且经由与各像素31的列数对应的多个垂直信号线而连接至列处理部24。换言之，像素部22的多个像素31布置于各水平信号线与各垂直信号线的相互交叉点处。根据由垂直驱动部23提供的驱动信号，像素部22将与通过光电转换生成的电荷对应的电平的像素信号输出给列处理部24。而且，像素部22的各像素31具有各自的H)(光电二极管)32以及各自的快门元件33,PD32用作光电转换部，而快门元件33层叠于TO32的光接收面侧。快门元件33根据快门驱动部28的控制而控制入射光对TO32的透射。可采用如本申请人提交的日本专利特开2007-188047号公报所公开的 显示装置中使用的有源矩阵型液晶快门以作为快门元件33。注意，还可将MEMS (微机电系统)元件和其它元件用作快门元件33。垂直驱动部23经由对应的水平信号线而为像素部22的多个像素31的每行依次提供驱动信号(诸如传输信号、选择信号和复位信号)以驱动每个像素31。列处理部24经由对应的垂直信号线对从各像素31输出的像素信号实施⑶S (相关双采样)处理以提取像素信号的信号电平，并且获得对应于各像素31的光接收量的像素数据。水平驱动部25向列处理部24提供驱动信号，以为了像素部22的多个像素31的每列，从列处理部24输出由各像素31获得的像素数据。输出部26在基于水平驱动部25的驱动信号的时刻从列处理部24接收像素数据。例如，输出部26对像素数据进行放大并将所得到的像素数据输出给后级图像处理电路。驱动控制部27控制对固体摄像器件21内部的每个模块的驱动。例如，驱动控制部27根据每个模块的驱动周期而生成时钟信号，并将所生成的时钟信号提供给每个模块。快门驱动部28控制快门元件33的透射状态和遮光状态之间的切换。图3为表示固体摄像器件21的第一配置例的横截面图。图3表示以阵列状布置的多个像素31中的两个相邻像素31A和像素31B附近的横截面。如图3所示，固体摄像器件21包括从下层侧开始依次相互层叠的布线层41、半导体基板42、绝缘膜43、快门层44以及OCL(片上透镜)层45。注意，固体摄像器件21为所谓的背侧照射型CMOS图像传感器，其中，使入射光照射在半导体基板42的与设有布线层41的正面相反的背面(面向图3的上侧的表面)上。布线层41例如由布置于布线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像器件，其包括：光接收层，其具有至少一个光电转换部，所述光电转换部以平面状态布置且配置为将接收光转换为电信号；和快门层，其配置为控制待入射至所述光接收层上的光的透射，其中，所述光接收层和所述快门层之间的间隔小于或等于形成于所述快门层中的至少一个快门元件的长度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山下和芳，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：