【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种固体摄像装置,其包括:基板;元件形成区,其形成于所述基板的前表面上;元件隔离部,其将形成于所述基板上的各像素隔离,每个元件隔离部形成有从所述基板的前表面延伸至期望深度的沟槽以及埋入所述沟槽中的由绝缘材料制成的埋入膜;光电转换元件,其形成于所述元件形成区中,所述光电转换元件根据入射光量生成信号电荷;以及埋入沟道型MOS晶体管,其形成于由所述元件隔离部而与所述光电转换元件隔离的区域中,所述埋入沟道型MOS晶体管包括:源极区和漏极区,它们形成于所述元件形成区的期望区域中,所述源极区和漏极区各为导电型与所述元件形成区的导电型相反的杂质区;沟道区,其具有第一杂质扩散区和第二杂质扩 ...
【技术特征摘要】
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