【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械制造领域的机械装备结构,尤其是适合用于一种真空镀膜机腔体结构。
技术介绍
目前真空镀膜机腔体普遍采用圆柱形结构或方形腔体结构,其优点是制造方便,成本低;缺点是真空腔体利用率低,真空腔体的体积大,加大了所需腔体真空抽取设备的负担,增加了抽取真空时间。当镀膜机用于真空度及效率要求越来越高的半导体行业时,这种缺点就更加明显。
技术实现思路
为了克服现有技术中真空腔体利用率低、设备负担大、真空抽取时间长的问题,本技术提供一种在保证电子枪维护方便的条件下提高真空腔体的有效体积,减少真空抽取时间的真空镀膜机腔体结构。本技术采用的技术方案是一种真空镀膜机腔体结构,包括真空镀膜机主体,所述主体内设置有真空腔体,其特征在于所述真空腔体的上端设为与基片伞架形状相吻合的半球形,所述真空腔体的下端设为半球形且设有用于安装电子枪的底盘的第一开口,在所述第一开口的两端均设有用于安装加热器的凹槽,所述凹槽的底部设有用于连接所述加热器电源的第二开口,所述第二开口的外侧设有密封挡板。进一步,所述第二开口与所述凹槽的侧壁齐平,所述加热器安装在所述密封挡板上。本技术将真空腔体的上下两端设为半球形,使真空腔体的上端与基片伞架的形状相吻合;在真空腔体的下端设有第一开口,将装有电子枪的底盘从真空腔体的下部往上安装,底盘的底部设有升降摆出装置,底盘与真空腔体的连接处设有密封圈。当需要维护电子枪时,通过升降摆出装置将底盘及电子枪从真空腔体内向下移动并摆出。本技术将加热器放置在凹槽内,可以降低加热器的高度,减少蒸发材料镀到加热器表面;并将加热器直接安装在密封挡板上,可以使整个加热器从开口处移除 ...
【技术保护点】
一种真空镀膜机腔体结构,包括真空镀膜机主体,所述主体内设置有真空腔体,其特征在于:所述真空腔体的上端设为与基片伞架形状相吻合的半球形,所述真空腔体的下端设为半球形且设有用于安装电子枪的底盘的第一开口,在所述第一开口的两端均设有用于安装加热器的凹槽,所述凹槽的底部设有用于连接所述加热器电源的第二开口,所述第二开口的外侧设有密封挡板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈军,刘黎明,关永卿,洪婧,陈虹飞,田俊杰,汪文忠,邓凤林,郑栋,将卫金,赵山泉,
申请(专利权)人:杭州大和热磁电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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