【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种腔体检测技术，更具体地说，它涉及一种腔体水压批量检测装置及方法。
技术介绍
1、随着半导体产业的飞速发展，对腔体水压的检测效率也在日益提高。腔体水压检测技术广泛应用与工业、建筑、交通等领域，对于产品的质量和安全性具有至关重要的作用。在工业生产中，如压力容器、不锈钢腔体、管道等半导体设备的制造过程中，腔体水压检测是保证设备强度和密封性的关键环节，必须一对一的对腔体进行水压检测，耗时较长，如若水压检测没有通过会影响产品最终的使用性能和使用寿命，造成经济损失。由于现有的技术是一对一的对腔体进行水压检测，所以当前腔体水压检测方法主要面临以下问题：（1）时间消耗：单一腔体水压检测通常需要一个腔体一个腔体地进行测试，这可能需要较长的时间，尤其在大规模生产中会影响效率。（2）人为误差：依赖人工进行测试时，可能会引入人为误差，特别是在重复性测试时，操作员可能会出现差异。（3）成本高：单一腔体测试通常需要较多的人力和时间投入，可能增加成本，尤其是在大规模生产中。（4）有限的覆盖范围：单一腔体测试通常只能覆盖一个腔体的特定情况，不适合批量...
【技术保护点】
1.一种腔体水压批量检测装置，其特征是，包括高压供水机构和阀门分接器，阀门分接器上设置进水腔，高压供水机构和进水腔连通，阀门分接器上安装多个检测阀，检测阀进口均与进水腔连通，检测阀出口均连接检测管，检测管上安装检测压力表。
2.根据权利要求1所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，高压供水机构和进水腔之间安装输水管，输水管上安装总压力表。
3.根据权利要求1所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，高压供水机构包括手动打压泵，手动打压泵上设置活塞腔，活塞腔内安装活塞，活塞上活动连接活塞杆，手动打压泵上转动安装连杆，连杆与活塞杆铰接在一起；活塞...
【技术特征摘要】
1.一种腔体水压批量检测装置，其特征是，包括高压供水机构和阀门分接器，阀门分接器上设置进水腔，高压供水机构和进水腔连通，阀门分接器上安装多个检测阀，检测阀进口均与进水腔连通，检测阀出口均连接检测管，检测管上安装检测压力表。
2.根据权利要求1所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，高压供水机构和进水腔之间安装输水管，输水管上安装总压力表。
3.根据权利要求1所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，高压供水机构包括手动打压泵，手动打压泵上设置活塞腔，活塞腔内安装活塞，活塞上活动连接活塞杆，手动打压泵上转动安装连杆，连杆与活塞杆铰接在一起；活塞腔下部设置抽水口和排水口，抽水口和排水口处分别安装单向进水阀和单向出水阀，排水口与进水腔连通。
4.根据权利要求3所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，手动打压泵下方安装水箱，抽水口连接进水管，进水管端部置于水箱中。
5.根据权利要求1所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，高压供水机构为水泵或者自来水管，高压供水机构和进水腔之间安装稳压阀。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种腔体水压批量检测装置，其特征是，检测阀包括阀体和阀芯，阀体内设置阀腔，阀芯转动安装在阀腔内，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘家鑫，李天普，陈雪峰，詹小雄，谢如应，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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