坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法技术方案

所述坩埚包括一埚体和一多孔盖。该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和一实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开口，该埚体的包括该开口的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括一邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开口，该多孔盖包括多个通气孔。其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。本发明专利技术设置了接受电子枪加热的实心部，从而避免了直接用电子枪加热膜料。本发明专利技术还涉及一种使用该坩埚的真空蒸镀系统及蒸镀方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种真空蒸镀系统、该系统使用的坩埚、及相应的蒸镀方法。
技术介绍
真空蒸镀镀膜法分为热电阻加热法和电子枪加热法。其中，热电阻加热法是以电流通过高熔点电阻片以加热电阻片，从而使附着于电阻片上的膜料气化；电子枪加热法是利用电子枪所产生的热电子直接打在膜料上使其气化。一般而言，防水膜料适用于电阻加热法，然而，有些镀膜机没有电阻加热设备，如果采用电子枪直接加热防水膜料，所产生的温度较高，所以当电子束直接打在防水膜料时会破坏防水膜料的化学结构，另一方面还会造成部分非防水膜料的其它杂质被蒸发上去，大大降低防水膜料的效果
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供ー种可克服上述缺陷的坩埚。有鉴于此，还有必要提供ー种可克服上述缺陷的真空蒸镀系统。有鉴于此，还有必要提供ー种可克服上述缺陷的蒸镀方法。所述坩埚包括一埚体和一多孔盖。该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和ー实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开ロ，该埚体的包括该开ロ的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括ー邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开ロ，该多孔盖包括多个通气孔。其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。所述真空蒸镀系统，包括一腔体，一安装于该腔体内的一电子枪座，及ー坩埚。该电子枪座上形成有凹陷。该坩埚包括ー埚体、一多孔盖和ー隔热垫。该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和ー实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开ロ，该埚体的包括该开ロ的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括ー邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开ロ，该多孔盖包括多个通气孔。该埚体远离该包括开ロ的端面的另一端面置于该隔热垫上，该隔热垫安装于该电子枪座的凹陷中。其中，该埚体、该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成，该隔热垫由高熔点、隔热性材料制成。所述蒸镀方法包括步骤将防水膜料置于容纳腔内，盖上多孔盖；从电子枪座发射出电子束，调整发射參数使得电子束的扫描范围仅及于实心部；及埚体加热防水膜料使得防水膜料气化，气化防水膜料从多孔盖的通气孔中逸出并附着于基材上以形成镀膜。本专利技术设置了接受电子枪加热的实心部，从而避免了直接用电子枪加热膜料以破坏膜料的化学结构。附图说明图I为本专利技术一优选实施方式的坩埚的立体图。图2为图I的爆炸图。图3为图I的剖面图。图4为本专利技术一优选实施方式的真空蒸镀系统的剖视图。图5为本专利技术一优选实施方式的真空蒸镀方法的流程图。主要元件符号说明权利要求1.一种坩埚，其特征在于，包括ー埚体，该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和ー实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开ロ，该埚体的包括该开ロ的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括ー邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热；一多孔盖，该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开ロ，该多孔盖包括多个通气孔；其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。2.如权利要求I所述的坩埚，其特征在于还包括一隔热垫，该隔热垫由高熔点、隔热性材料制成，该埚体远离该开ロ端的另一端置于该隔热垫上。3.如权利要求I所述的坩埚，其特征在于该埚体和该多孔盖由下列材料的一种或几种制成鹤、钥、组、怕。4.如权利要求I所述的坩埚，其特征在于该隔热垫由下列材料的一种或几种制成陶 瓷、石墨。5.ー种真空蒸镀系统，其特征在于，包括一腔体，一安装于该腔体内的一电子枪座，及ー坩埚；该电子枪座上形成有凹陷；该坩埚包括ー埚体、一多孔盖和ー隔热垫；该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和ー实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开ロ，该埚体的包括该开ロ的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括ー邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热；该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开ロ，该多孔盖包括多个通气孔；该埚体远离该包括开ロ的端面的另一端面置于该隔热垫上，该隔热垫安装于该电子枪座的凹陷中；其中，该埚体、该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成；该隔热垫由高熔点、隔热性材料制成。6.如权利要求5所述的真空蒸镀系统，其特征在于该埚体、该多孔盖由下列材料的一种或几种制成鹤、钥、组、怕。7.如权利要求5所述的真空蒸镀系统，其特征在于该隔热垫由下列材料的一种或几种制成陶瓷、石墨。8.ー种使用如权利要求5所述的真空蒸镀系统的蒸镀方法，其特征在于，包括步骤 将防水膜料置于容纳腔内，盖上多孔盖； 从电子枪座发射出电子束，调整发射參数使得电子束的扫描范围仅及于实心部；及 埚体加热防水膜料使得防水膜料气化，气化防水膜料从多孔盖的通气孔中逸出并附着于基材上以形成镀膜。9.如权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，还包括步骤在将防水膜料置于埚体内前，将隔热垫置于电子枪座的凹陷中，将埚体置于隔热垫中。10.如权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于所述发射电子束的步骤还包括发射的电子束经过磁场偏转后打到受热端。全文摘要所述坩埚包括一埚体和一多孔盖。该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和一实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开口，该埚体的包括该开口的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括一邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开口，该多孔盖包括多个通气孔。其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。本专利技术设置了接受电子枪加热的实心部，从而避免了直接用电子枪加热膜料。本专利技术还涉及一种使用该坩埚的真空蒸镀系统及蒸镀方法。文档编号C23C14/30GK102864420SQ20111019059公开日2013年1月9日 申请日期2011年7月8日 优先权日2011年7月8日专利技术者林君鸿 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚，其特征在于，包括：一埚体，该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和一实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开口，该埚体的包括该开口的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括一邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热；一多孔盖，该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开口，该多孔盖包括多个通气孔；其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林君鸿，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：