本实用新型专利技术公开了一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，冷却腔的下壁设有入水口，冷却腔的上部设有顶盘，顶盘的周边部位设有通水孔，顶盘的中部设有出水口，出水口通过中心管穿过冷却腔的下壁与外部相通，冷却腔内设有分水盘，分水盘用螺钉固定在冷却腔的下壁上，入水孔与分水盘下腔之间的侧壁开通孔，分水盘的周边部位固定有立板，立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜机坩埚，尤其涉及一种坩埚冷却装置。
技术介绍
目前，镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等。电子枪坩埚是镀膜机中加热源部件电子枪的容器。在镀膜机工作过程中，处在真空(空气极其稀薄)中的电子枪产生高能电子会使坩埚内温度升至700 3600°C，如此高 的温度会使坩埚熔化而被破坏，为了避免这类情况发生，有效地冷却坩埚是一项关键技术。如图I所示，为现有技术的坩埚冷却装置，其中箭头表示水流方向，冷却水由入水孔进入坩埚在注满坩埚冷却腔后，从中部水孔流向顶盘四周的通水孔，再由顶盘与坩埚顶部之间的空隙流回中心管，中心管下端的出水孔流出。由于水流粘性易在图示位置产生涡旋，从而不能有效地把坩埚产生的热量带走，在实际使用中，曾发生过由于冷却不足而使坩埚被破坏的情况。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种坩埚冷却装置。本技术的目的是通过以下技术方案实现的本技术的坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。由上述本技术提供的技术方案可以看出，本技术提供的坩埚冷却装置，由于冷却腔内设有分水盘，分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，上腔与下腔通过分水盘边缘部位的缺口相通，下腔与入水口相通。水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。附图说明图I为现有技术中的坩埚冷却装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的坩埚冷却装置的结构示意图；图3为本技术实施例中分水盘的结构示意图；图4为本技术实施例中的水流路径示意图。图中1、坩锅热源，2、顶盘，3、水流涡旋示意，4、中心管，5、入水口，6、出水口，7、侧壁开通孔部位，8、分水盘，9、立板，10、缺口。具体实施方式下面将结合附图对本技术实施例作进一步地详细描述。本技术的坩埚冷却装置，其较佳的具体实施方式是包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水 口相通。所述分水盘用螺钉固定在所述冷却腔的下壁上，所述入水孔与所述下腔之间的侧壁开通孔。所述分水盘的周边部位固定有立板，所述立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。具体实施例如图2所示，为提高水冷效率，在坩埚内增加一个如图3所示的分水盘，分水盘用螺钉固定在坩埚底部，同时将中部入水孔的侧向打通，使水流向径向流动。在分水盘上固定立板，可使水流流向坩埚正下方，同时支撑分水盘，使其不会发生振动。如图4所示，为本技术具体实施例的坩埚冷却装置的水流路径，水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。权利要求1.一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，其特征在于，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。2.根据权利要求I所述的坩埚冷却装置，其特征在于，所述分水盘用螺钉固定在所述冷却腔的下壁上，所述入水孔与所述下腔之间的侧壁开通孔。3.根据权利要求2所述的坩埚冷却装置，其特征在于，所述分水盘的周边部位固定有立板，所述立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。专利摘要本技术公开了一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，冷却腔的下壁设有入水口，冷却腔的上部设有顶盘，顶盘的周边部位设有通水孔，顶盘的中部设有出水口，出水口通过中心管穿过冷却腔的下壁与外部相通，冷却腔内设有分水盘，分水盘用螺钉固定在冷却腔的下壁上，入水孔与分水盘下腔之间的侧壁开通孔，分水盘的周边部位固定有立板，立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。文档编号C23C14/30GK202543304SQ20122010443公开日2012年11月21日 申请日期2012年3月19日 优先权日2012年3月19日专利技术者刘敏强, 袁永旭 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，其特征在于，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁永旭，刘敏强，
申请(专利权)人：北京北仪创新真空技术有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：
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