ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法及其装置，包括紫外光学装置、微距视觉成像装置、图像采集同步控制装置、图像处理装置及结果输出装置。紫外光学装置对ITO薄膜同时形成亮-暗场照明，达到突出ITO电路图案与PET基材背景之间在图像空间中的灰度对比度、增强电路图案缺陷信息的目的；采用编码器建立同步信号，图像采集同步控制装置对该同步信号进行调制后，控制图像采集触发信号与薄膜运行速度的精确同步；微距视觉成像装置对缺陷信息进行高分辨率放大，通过图像采集同步控制装置传输至处理器，并由图像处理装置进行分析处理；结果输出装置对检测出的缺陷信息进行统计、分类、报警、存储和显示。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术具体涉及一种ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法与装置。
技术介绍
氧化铟锡薄膜(Indium Oxide doped with Tin Film, ITO)具有低电阻率、高可见光透过率等优良物理特性，其膜层耐高温、耐潮湿，稳定性极佳，是制造各种光学装置、光电装置及光电仪器的重要材料，在液晶显示屏、触摸屏、太阳能电板、汽车防雾玻璃等产品中有着广泛的应用。近年来，随着液晶电视、PDA、LCD、笔记本电脑等市场的高速发展，ITO材料的需求量得到了极大的增长。ITO薄膜表面常需加工出细微的图形电极。由于图形缺陷直接影响ITO终端产品的电路特性及功能，因此，对通电后形成的电路图案缺陷信息的检测具有至关重要的意义。然而，尽管基于机器视觉的检测技术已越来越多地在印品、玻璃制品、塑料薄膜等行业得到应用，但由于ITO薄膜的透明材质特性，其表面图形与PET基材之间的灰度对比度极低，为视觉检测技术的应用造成了巨大的障碍。因此，对ITO薄膜表面电路图案缺陷的检测长期以来不得不依靠人工通过显微镜等工具以离线方式来完成，不仅存在劳动强度大、效率低、漏检率高、检测结果易受检验人员主观本文档来自技高网...

【技术保护点】
ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法，其包括：1）增强灰度对比度和缺陷信息的步骤，其通过紫外光学装置对ITO薄膜形成亮？暗场照明，突出ITO电路图案与PET基材背景之间在图像空间中的灰度对比度和增强电路图案缺陷特征信息；2）同步图像采集的步骤，采用与ITO薄膜同轴连接的编码器输出同步信号，图像采集同步控制装置对该同步信号进行调制后，控制图像采集触发信号与薄膜运行速度的精确同步；3）原始图像分析处理的步骤，其通过微距视觉成像装置对电路图案缺陷信息进行可达10um/pixel以上的图像分辨率放大得到原始图像，通过图像采集装置经高速数据总线传输至图像处理装置进行分析和处理；4）实时缺...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李兆辉，胡广华，梁飞龙，杨华，梁子健，
申请(专利权)人：广州南沙华卓化工有限公司，
类型：发明
国别省市：