本发明专利技术提出了一种药剂混合器，包括本体和温度探测仪，所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔与混合液路连通，所述的较小的圆柱体腔与液路连通；所述的液路的个数至少是二，所述的液路与混合槽之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞，所述的球体塞设置在四氟弹簧上；所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。本发明专利技术提供了一种混合充分并能随时监控混合药剂温度的药剂混合器。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及掩模领域，特别是指一种用于清洗掩模的药剂混合器。
技术介绍
掩模在清洗的过程中需要两种或两种以上的不同药剂进行混合。在现有的混合技术中，会存在混合不均的问题，导致混合药剂的一些参数不稳定(比如混合药剂的温度，电导率等)。混合药剂参数的不稳定会直接导致清洗效果的好坏。
技术实现思路
本专利技术提出一种药剂混合器，解决了现有技术中混合药剂参数的不稳定会直接导致清洗效果的好坏的问题。本专利技术的技术方案是这样实现的一种药剂混合器，包括本体和温度探测仪，所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔与混合液路连通，所述的较小的圆柱体腔与液路连通；所述的液路的个数至少是二，所述的液路与混合槽之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞，所述的球体塞设置在四氟弹簧上；所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。进一步包括，所述的液路的个数是二，包括第一液路和第二液路，第一液路和第二液路上分别设置有药剂进口。进一步包括，所述的球体塞设置在液路口上，所述的球体塞的直径大于液路直径。进一步包括，所述的较大圆柱体腔与较小的圆柱体腔相互连通。有益效果本专利技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，混合槽的设计，对药剂能进行充分的混合。各液路均设有单向阀结构，防止各路的药剂回流导致药剂的污染。在混和腔的出口处设有温度传感器能实时监测混合液的温度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本专利技术一个实施例的结构示意其中1，本体；2，温度探测仪；3，液路；4，混合液路；5，混合槽；6，四氟弹簧；7，球体塞；8，较小的圆柱体腔；9，较大圆柱体腔；10，药剂进口 ；11，出口。具体实施方式如图I所示，一种药剂混合器，包括本体I和温度探测仪2，所述的本体I内设置有液路3、混合液路4和混合槽5，所述的混合槽5包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔9与混合液路4连通，所述的较小的圆柱体腔8与液路3连通；所述的液路3的个数至少是二，本专利技术的实施例优选为两种药剂混合，所以液路3的个数是二，包括第一液路和第二液路，第一液路和第二液路上分别设置有药剂进口 10 ;所述的液路3与混合槽5之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧6和球体塞7，所述的球体塞7设置在四氟弹簧6上；所述的温度探测仪2设置在混合液路4的出口 11处。工作过程药剂A和B通过液路3进入混合槽5，在药剂压力的作用下单向阀打开 (在没有药剂混合的时候，球体塞7在四氟弹簧6的作用下，塞住液路3 口防止混合槽5内的药剂倒流回液路3)，进入混合槽5内进行混合。混合槽5的设计使用不同直径的圆柱体腔组成，药剂在不同的圆柱体腔流过时增加了药剂的混合时间，达到更加充分的混合效果。 温度探测仪2设置在混合液路4的出口处，实时测量混合药剂的温度。药剂A和B停止使用后，在四氟弹簧6的作用下，球体塞7关闭液路3，防止混合槽5内的混合药剂倒流造成药剂的污染。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。权利要求1.一种药剂混合器，其特征在于包括本体和温度探测仪，所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔与混合液路连通，所述的较小的圆柱体腔与液路连通；所述的液路的个数至少是二，所述的液路与混合槽之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞，所述的球体塞设置在四氟弹簧上；所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。2.如权利要求I所述的药剂混合器，其特征在于所述的液路的个数是二，包括第一液路和第二液路，第一液路和第二液路上分别设置有药剂进口。3.如权利要求I所述的药剂混合器，其特征在于所述的球体塞设置在液路口上，所述的球体塞的直径大于液路直径。4.如权利要求I所述的药剂混合器，其特征在于所述的较大圆柱体腔与较小的圆柱体腔相互连通。全文摘要本专利技术提出了一种药剂混合器，包括本体和温度探测仪，所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔与混合液路连通，所述的较小的圆柱体腔与液路连通；所述的液路的个数至少是二，所述的液路与混合槽之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞，所述的球体塞设置在四氟弹簧上；所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。本专利技术提供了一种混合充分并能随时监控混合药剂温度的药剂混合器。文档编号B01F5/00GK102921324SQ20121043400公开日2013年2月13日 申请日期2012年11月3日 优先权日2012年11月3日专利技术者金海涛, 邬治国, 沈健 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种药剂混合器，其特征在于：包括本体和温度探测仪，所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔，所述的较大圆柱体腔与混合液路连通，所述的较小的圆柱体腔与液路连通；所述的液路的个数至少是二，所述的液路与混合槽之间设置有单向阀，所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞，所述的球体塞设置在四氟弹簧上；所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金海涛，邬治国，沈健，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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