一种基于PMMA材质及其它有机聚合物的微流控芯片的微波界面加热键合方法技术

技术编号:8296083 阅读:283 留言:0更新日期:2013-02-06 20:10
一种基于PMMA材质及其它有机聚合物的微流控芯片的微波界面加热键合方法,涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明专利技术的微波界面加热键合方法包括如下步骤:将微波吸收材料均匀涂敷于微流控芯片的基片和盖片的键合界面一侧,然后将芯片的基片和盖片中带有涂层的一侧对齐盖合置于带有电磁波发生装置的密闭容器中,控制微波功率范围在400-1000W,键合瞬时温度范围在95-200℃,键合时间为30-200S。本发明专利技术采用微波加热的方式,在键合的时候不需要施加外部压力,需要的工艺成本低,工艺步骤少,易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于PMMA材质及其它有机聚合物的微流控芯片的微波界面加热键合方法,其特征在于所述微波界面加热键合方法包括如下步骤:将微波吸收材料均匀涂敷于微流控芯片的基片和盖片的键合界面一侧,然后将芯片的基片和盖片中带有涂层的一侧对齐盖合置于带有电磁波发生装置的密闭容器中,控制微波功率范围在400?1000W,键合瞬时温度范围在95?200℃,键合时间为30?200S。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘晓为韩小为王蔚田丽张贺
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1