高灵敏的表面增强拉曼传感芯片制作方法技术

本发明专利技术公开了一种高灵敏的表面增强拉曼传感芯片制作方法，包括如下步骤：1）对基片进行亲水处理；2）选择大小均一的介质纳米球乳胶溶液，利用旋涂法或提拉法在亲水处理后的基片上自组装单层紧密排列的介质纳米球阵列；3）利用反应离子刻蚀技术对步骤2）所得到的介质纳米球阵列进行刻蚀；4）在步骤3）所得到的刻蚀后的介质纳米球阵列上，镀上金属膜，镀膜厚度小于步骤3）中的刻蚀厚度，即获得高灵敏的表面增强拉曼传感芯片。本发明专利技术解决了现有表面增强拉曼传感芯片物理光刻与化学合成制备方法获得的芯片的重复性、均一性与灵敏度之间不可兼得的矛盾，制备了灵敏度高且重复性、均一性好的表面增强拉曼芯片。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高灵敏的表面增强拉曼传感芯片制作方法，其特征在于：包括如下步骤：1）对基片进行亲水处理；2）选择大小均一的介质纳米球乳胶溶液，利用旋涂法或提拉法在亲水处理后的基片上自组装单层紧密排列的介质纳米球阵列；3）利用反应离子刻蚀技术对步骤2）所得到的介质纳米球阵列进行刻蚀；4）在步骤3）所得到的刻蚀后的介质纳米球阵列上，镀上金属膜，镀膜厚度小于步骤3）中的刻蚀厚度，即获得高灵敏的表面增强拉曼传感芯片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏良平，杨正，尹韶云，杜春雷，史浩飞，
申请(专利权)人：重庆绿色智能技术研究院，
类型：发明
国别省市：