【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种聚合物纳米通道的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在清洗后的衬底上旋转涂覆抗蚀剂，获得抗蚀剂层；（2）烘烤除去抗蚀剂溶剂；（3）通过曝光和显影，获得成对的纳米线条结构；（4）用清洗液清洗纳米线条结构，待清洗液在空气中完全挥发后，纳米通道制作完成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，郭进，冯俊波，滕婕，王俊，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，合肥公共安全技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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