一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法技术

一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法，在预备好的含有凸柱的模具的边缘注入PDMS预聚物；凸柱的形状和尺寸与所需制备的通孔层中通孔的形状和尺寸一致，其中，凸柱的高度与需要获得的通孔层的厚度一致；利用毛细力的作用使PDMS预聚物缓慢平稳地浸润入各凸柱之间的间隙，直至铺展满整个模具，固化后形成PDMS通孔层。本发明专利技术具有操作简便、可以有效保证孔的完全穿通、通孔层表面平整和模具材料可选择范围广的优点，可以广泛地用于PDMS微流体器件中通孔结构的制作过程中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法，其特征在于：在预备好的含有凸柱的模具的边缘注入PDMS预聚物；凸柱的形状和尺寸与所需制备的通孔层中通孔的形状和尺寸一致，其中，凸柱的高度与需要获得的通孔层的厚度一致；利用毛细力的作用使PDMS预聚物缓慢平稳地浸润入各凸柱之间的间隙，直至铺展满整个模具，固化后形成PDMS通孔层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李勇，朱效谷，周凯，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：