当前位置: 首页 > 专利查询>厦门大学专利>正文

基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置制造方法及图纸

技术编号:8238329 阅读:188 留言:0更新日期:2013-01-24 18:19
本发明专利技术提供了一种基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置,可在特定基底或者微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料,用于构筑全固态微纳米器件。所述方法包括:构筑微纳米尺度的电化学反应器,以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内;以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境,以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。所述装置包括微纳米尺度的电化学反应器、电化学工作站、微纳米精度的三维微动系统、视频监视器和信息处理计算机。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法,所述方法包括:构筑微纳米尺度的电化学反应器,以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内;以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境,以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:詹东平杨德志
申请(专利权)人:厦门大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1