具有非球面膜床的平台、具有该平台的压力传感器及其制造方法技术

用于具有膜床的平台的制造的方法包括如下步骤：提供包括硅的平台主体；并且借助激光烧蚀从该平台主体的表面去除硅材料。优选地，经烧蚀的表面被另外氧化；并且经处理并氧化的表面被蚀刻。得到的压力传感器（1）包括具有膜床（6a、6b）的两个平台（2a、2b），该膜床（6a、6b）具有用于支撑测量膜（3）的轮廓，其中该轮廓基本对应于该测量膜（3）的弯曲线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：英·图安·塔姆，迪特尔·施托尔塞，拉斐尔·泰伊朋，
申请(专利权)人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司，
类型：
国别省市：