流体控制装置制造方法及图纸

一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围，所述连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板。驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。可挠板设有孔，并与所述振动板的所述第二主面相对地固定于所述框板。至少所述振动板的一部分及所述连接部的厚度形成得比所述框板的厚度薄，以使所述振动板的一部分及所述连接部的靠所述可挠板一侧的表面远离所述可挠板。

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置本申请是申请人于2012年9月5日提交的、申请号为“201210326001.6”，名称为“流体控制装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种进行流体控制的流体控制装置。
技术介绍
国际公开第2008/069264号册子公开了现有流体泵(参照图1a～图1e)。图1a～图1e是表示上述现有流体泵在第三阶模态下的动作的图。如图1a所示，上述流体泵包括：泵主体10；振动板20，该振动板20的外周部固定于泵主体10；压电元件23，该压电元件23粘贴于上述振动板20的中央部；第一开口部11，该第一开口部11形成于泵主体10的与振动板20的大致中央部相对的部位；以及第二开口部12，该第二开口部12形成于振动板20的中央部和外周部的中间区域或泵主体的与该中间区域相对的部位。振动板20是金属制的。压电元件23形成为覆盖第一开口部11且不到达第二开口部12的大小。在上述流体泵中，通过对压电元件23施加规定频率的电压，如图1a～图1e所示，振动板20的与第一开口部11相对的部分和振动板20的与第二开口部12相对的部分会朝相反方向弯曲变形。藉此，上述流体泵从第一开口部11及第二开口部12中的一个开口部吸入流体，并将该流体从另一个开口部排出。由于具有图1a所示的现有结构的上述流体泵的结构简单，因此，能构成为薄型。上述流体泵可用作例如燃料电池系统的空气输送用泵。另一方面，作为组装上述流体泵的目的地的电子设备始终处于呈小型化的趋势。因此，要求在不使上述流体泵的泵能力(排出流量和排出压力)降低的前提下，使上述流体泵进一步小型化。然而，上述流体泵越是小型化，则上述流体泵的泵能力就越是降低。因此，若欲维持泵能力并将其小型化，则在现有结构的上述流体泵中存在界限。因此，本申请的专利技术人对以下所示的结构的流体泵进行了研究。图2是表示上述流体泵的主要部分的结构的剖视图。流体泵901包括可挠板35、振动板单元38及压电元件32，并具有将上述构件依次层叠的结构。振动板单元38由振动板31、框板33及连接部34构成。振动板单元38是金属制的。另外，压电元件32和与压电元件32接合的振动板31构成致动器30。在该振动板31的周围设有框板33。振动板31通过连接部33与框板34连接。在可挠板35的中心形成有通气孔35A。此外，框板33通过粘接剂层37而被固定在可挠板35的端部。因此，振动板31及连接部34以与可挠板35分开粘接剂层37的厚度而被支承于框板33。此外，连接部34是具有较小弹簧常数的弹性的弹性结构。因此，振动板31被两个连接部34在两点上柔软地弹性支承于框板33。因此，几乎不会妨碍因压电元件32伸缩而使振动板31产生弯曲振动。即，流体泵901为致动器30的周边部实质上没有被固定的结构。因此，可使伴随致动器30的弯曲振动而引起的损失变少。另外，由于随着致动器30的驱动而使可挠板35振动，因此，流体泵901实质上能增大振动振幅。藉此，流体泵901虽然小型、低背，但却具有较高的排出压力和较大的排出流量。然而，在流体泵901中，当框板33和可挠板35通过粘接剂固定时，剩余的粘接剂可能会从粘接剂层37流入连接部34与可挠板35之间的间隙。藉此，连接部34与可挠板35可能会粘接而阻碍致动器30的振动。另外，振动板31和可挠板35之间的距离受到粘接剂层37厚度的限定，但由粘接剂的涂布量来唯一地限定该距离是非常困难的。因此，在流体泵901中，对流体泵901的压力－流量特性带来影响的振动板31与可挠板35之间的距离无法被唯一地限定。因而，在流体泵901中，存在流体泵901的压力－流量特性在每个流体泵901的个体上出现偏差这样的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能抑制振动板的振动受到粘接剂阻碍、并能抑制压力－流量特性的偏差的流体控制装置。本专利技术的流体控制装置包括振动板单元、驱动体及可挠板。振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，上述振动板具有第一主面和第二主面，上述框板围住上述振动板的周围，上述连接部将上述振动板与上述框板连接，并将上述振动板弹性支承于上述框板。驱动体设于上述振动板的上述第一主面，并使上述振动板振动。可挠板设有孔，并与上述振动板的上述第二主面相对地固定于上述框板。至少上述振动板的一部分及上述连接部的厚度形成得比上述框板的厚度薄，以使上述振动板的一部分及上述连接部的靠上述可挠板一侧的表面远离上述可挠板。在该结构中，连接部靠可挠板侧的表面被配置成远离可挠板。因此，即便粘接剂的剩余部分流入连接部与可挠板之间的间隙，上述流体控制装置也能抑制连接部与可挠板的粘接。同样地，在该结构中，振动板的一部分靠可挠板侧的表面远离可挠板。因此，即便上述粘接剂的剩余部分流入振动板的一部分与可挠板之间的间隙，上述流体控制装置也能抑制可挠板的一部分与可挠板的粘接。由此，上述流体控制装置能抑制振动板的一部分及连接部与可挠板粘接而阻碍振动板的振动。另外，在该结构中，振动板的一部分的厚度与框板的厚度之差相当于振动板的一部分与可挠板之间的距离。即，在上述流体控制装置中，通过使振动板单元的靠可挠板一侧的厚度局部不同，从而可精密地限定对压力－流量特性带来影响的上述距离。由此，上述流体控制装置能抑制压力－流量特性在每个流体控制装置的个体上出现偏差的情况。因此，上述流体控制装置能抑制因粘接剂的流入而阻碍振动板振动的情况，并能抑制压力－流量特性的偏差。另外，较为理想的是，上述振动板单元是一体形成的。在该结构中，通过使一体形成的振动板单元的靠可挠板一侧的厚度局部不同，从而可精密地限定对压力－流量特性带来影响的上述距离。由此，上述流体控制装置能进一步抑制压力－流量特性在每个流体控制装置的个体上出现偏差的情况。另外，较为理想的是，至少上述振动板的一部分及上述连接部通过蚀刻而形成为厚度比上述框板的厚度薄。在该结构中，上述振动板的一部分及上述连接部的靠上述可挠板一侧的表面被蚀刻。因此，在该结构中，振动板的一部分及连接部与可挠板之间的距离可根据蚀刻的深度而被精密地限定。由此，上述流体控制装置能进一步抑制压力－流量特性在每个流体控制装置的个体上出现偏差的情况。另外，较为理想的是，上述振动板的一部分是上述振动板整体中的最靠近可挠板与框板的粘接部分的上述振动板的周缘部。在该结构中，振动板的周缘部的靠可挠板一侧的表面远离可挠板。因此，即便上述粘接剂的剩余部分流入振动板的周缘部与可挠板之间的间隙，上述流体控制装置也能抑制可挠板的周缘部与可挠板粘接的情况。因此，上述流体控制装置能抑制振动板的周缘部与可挠板粘接而阻碍振动板的振动。另外，较为理想的是，在上述可挠板的与上述连接部相对的区域内形成有孔部。在该结构中，当框板与可挠板通过粘接剂固定时，上述粘接剂的剩余部分会流入孔部。因此，上述流体控制装置能进一步抑制振动板及连接部与可挠板粘接的情况。即，上述流体控制装置能进一步抑制振动板的振动受到粘接剂阻碍的情况。另外，较为理想的是，上述振动板及上述驱动体构成致动器，上述致动器呈圆板状。在该结构中，致动器呈旋转对称形(同心圆状)振动。因此，在致动器与可挠板之间不会产生不需要的间隙。由此，在上述流体控制装置中，提高了作为泵的动作效率。另外，较为理想的是，上述可挠板具有：可动部，该可动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体控制装置，其特征在于，包括：振动板单元，该振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围，所述连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板；驱动体，该驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动；以及可挠板，该可挠板与所述振动板的所述第二主面相对地固定于所述框板，在所述可挠板的与所述连接部相对的区域内形成有孔部。

【技术特征摘要】
2011.09.06 JP 2011-1944271.一种流体控制装置，其特征在于，包括：振动板单元，该振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板以在除了所述连接部之外的部位隔着间隙的方式围住所述振动板的周围，所述连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板；驱动体，该驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动；以及可挠板，该可挠板与所述振动板相对地设有第一孔，并与所述振动板的所述第二主面及所述连接部相对地固定于所述框板，在所述可挠板的与所述连接部相对的区域内形成有第二孔。2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，至少所述振动板的一部分及所述连接部的厚度形成得比所述框板的厚度薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田笃彦，安藤祯宪，前田刚伸，儿玉幸治，大森健太，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP