流体控制装置制造方法及图纸

主体(2)通过配置有多个通路块(3)而形成。作为形成主气体通路(9)的通路，各通路块(3)具有：第1倒V字状通路(15)；以及第1出口通路(16)，其将第1倒V字状通路(15)的顶部与第1开关阀(4)的出口(4b)连通。作为形成排放气体通路(10)的通路，各通路块(3)具有：第2倒V字状通路(17)；以及第2出口通路(18)，其将第2倒V字状通路(17)的顶部与第2开关阀(5)的出口(5b)连通。作为形成第1副气体流入通路(11)的通路，各通路块(3)具有：第1入口通路(19)，其通向第1开关阀(4)的入口(4a)；以及公共入口通路(20)。作为形成第2副气体流入通路(12)的通路，各通路块(3)具有：第2入口通路(21)，其通向第2开关阀(5)的入口(5a)；以及连通路(22)，其与公共入口通路(20)连结。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置
本专利技术涉及一种流体控制装置，该流体控制装置例如在半导体处理装置中以适当地切换多种材料气体并将其向处理室供给的目的而使用。
技术介绍
以往，作为以适当地切换多种材料气体并将其向处理室供给的目的而使用的流体控制装置，已知如下流体控制装置，其具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体(ventgas)出入口，它们均在主体的长度方向的两端中的各端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；多个副气体入口，它们在主体的一侧沿长度方向以规定间隔而设置；开关阀，其在与各副气体入口对应的位置分别成双地配置、且整体在宽度方向上排列成2列；多个第1副气体流入通路，它们从各副气体入口通向第1列的各开关阀的入口；以及多个第2副气体流入通路，它们从各副气体入口通向第2列的各开关阀的入口(专利文献1等)。在专利文献1的流体控制装置中，主体由多个中央通路块(block)、以及在前后方向上较长的2个侧通路块构成，主气体通路及排放气体通路分别形成为直线状，通过与这些通路正交的通路而与开关阀的出口连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-183743号公报
技术实现思路
在上述以往的流体控制装置中，需要不同种类的通路块，另外，侧通路块形成为与开关阀的数量相应的形状，在增减开关阀的情况下，需要对侧通路块的形状进行变更。因此，存在如下问题：主体的结构变得复杂，难以实现开关阀的增减。另外，在这种流体控制装置中，还有以下课题：在使排放气体流动时想要使成为死区容积(deadvolume)的通路减少。本专利技术的目的在于提供一种主体的结构简单且容易实现开关阀的增减，另外还能够进一步减少死区容积的流体控制装置。本专利技术所涉及的流体控制装置具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体出入口，它们均在主体的长度方向的两端中的各端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；副气体入口，其设置于主体的一侧；开关阀，其在与副气体入口对应的位置配置有多个、且整体在宽度方向上排列；以及多个副气体流入通路，它们从副气体入口通向各开关阀的入口，该流体控制装置适当地对从副气体入口导入的材料气体进行切换并将材料气体从主气体通路出口向下游侧处理室供给，并且经由排放气体通路而将主体内气体排出，所述流体控制装置的特征在于，主体通过在长度方向上配置通路块而形成，通路块形成有对开关阀进行收纳的凹部，作为形成主气体通路的通路，通路块具有：第1倒V字状通路，其在长度方向两端开口；以及第1出口通路，其将第1倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，作为形成排放气体通路的通路，通路块具有：第2倒V字状通路，其在长度方向两端开口；以及第2出口通路，其将第2倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，作为副气体流入通路，通路块具有：入口通路，其通向各开关阀的入口；公共入口通路，其与入口通路连结、且通向副气体入口；以及连通路，其与入口通路连结、且与公共入口通路连结。主体通过对通路块(相同形状的通路块)进行配置而形成，由此，在开关阀的数量增减时，仅通过使通路块增减便能够应对。相邻的通路块彼此具有相互连通的通路(第1倒V字状通路以及第2倒V字状通路)，通过使这些通路连接而形成主气体通路及排放气体通路。在相邻的通路块之间夹设有由垫圈等构成的密封部。并未特别限定密封部的结构。以往，主气体通路及排放气体通路分别形成为直线状，且通过与上述这些通路正交的通路而与开关阀的出口连接。与此相对，在本专利技术的流体控制装置中，将主气体通路及排放气体通路设为使得倒V字状通路连续而成的锯齿状。因此，将倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通的出口通路变为相对短的通路。当排放气体流动时成为死区容积的通路是将倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通的出口通路，能够使其形成为短的通路，从而能够减少死区容积。将各开关阀例如设为隔膜阀。优选各开关阀具备：阀座，其以能够拆装的方式配置于在通路块形成的出口通路的周缘；阀座保持件，其以能够拆装的方式配置于通路块的凹部、且对阀座进行保持；以及隔膜，其通过被按压于阀座、或者从阀座分离而进行流体通路的开闭，各开关阀使得流入到入口通路的流体经由在阀座保持件设置的贯通孔而与出口通路连通。这样，即使在开关阀中也能够减少死区容积，通过将该开关阀支承于减少了成为死区容积的通路的上述通路块，使其成为用于减少死区容积的更优选的结构。阀座保持件为公知的结构，例如为开孔圆板状，且构成为包括：内周缘部，其对阀座进行保持；中间环状部，其以规定间隔形成有通向流体流出通路的多个贯通孔；以及外周缘部，其对隔膜的外周缘部进行夹持。优选隔膜阀还具备对阀座保持件进行保持的护圈。护圈例如为大致圆筒状，且具有对阀座保持件的外周缘部进行承托的朝内凸缘部。优选在长期使用的情况下对阀座进行更换，由于具备对阀座保持件进行保持的护圈，从而通过将护圈拆下而能够将被护圈保持的阀座保持件、以及保持于该阀座保持件的阀座拆下，能够容易地进行阀座的更换。阀座例如设为合成树脂制的，当然也可以是金属制的。优选阀座保持件及护圈为金属制的。隔膜设为例如由镍合金薄板构成，另外，也可以设为由不锈钢薄板构成、或由不锈钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体构成，并未特别限定隔膜的材料。另外，隔膜可以为1个，也可以为重叠有多个的层叠体，能够根据规格、条件等而自由地选择。专利技术效果根据本专利技术的流体控制装置，主体通过在长度方向上配置相同形状的通路块而形成，在该通路块形成有需要的所有通路，因此在开关阀的数量增减时，仅通过使通路块增减便能够应对，主体的结构简单、且容易增减开关阀的数量。另外，成为死区容积的通路能够形成为将倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通的、极短的出口通路，因此能够减少死区容积。附图说明图1是表示本专利技术所涉及的流体控制装置的1个实施方式的俯视图。图2是沿着图1中的II-II线的剖视图。图3是沿着图1中的III-III线的剖视图。图4是沿着图1中的IV-IV线的剖视图。图5是表示在本专利技术所涉及的流体控制装置中使用的开关阀的1个例子的纵剖视图。图6是放大表示构成开关阀的阀座保持件的图，图6的(a)是俯视图，图6的(b)是纵剖视图。附图标记说明1流体控制装置2主体3通路块4第1开关阀(第1列的开关阀)4a入口4b出口5第2开关阀(第2列的开关阀)5a入口5b出口6主气体出入口7排放气体出入口8副气体入口9主气体通路10排放气体通路11第1副气体流入通路12第2副气体流入通路13第1开关阀收纳用凹部14第2开关阀收纳用凹部15第1倒V字状通路16第1出口通路17第2倒V字状通路18第2出口通路19第1入口通路20公共入口通路21第2入口通路22连通路具体实施方式以下参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下说明中，将图2中的上下设为上下方向。另外，将图1中的左右方向设为长度方向，将图1中的上下方向设为宽度方向。图1示出本专利技术所涉及的流体控制装置的1个实施方式，流体控制装置1用于例如在MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition:金属有机化学气相沉积)方法中一边分别对多种气体进行切换一边将其导入，该流体控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体控制装置，其具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体出入口，它们在主体的长度方向的两端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；副气体入口，其设置于主体的一侧；开关阀，其在与副气体入口对应的位置配置有多个、且整体在宽度方向上排列；以及多个副气体流入通路，它们从副气体入口通向各开关阀的入口，该流体控制装置适当地对从副气体入口导入的材料气体进行切换并从主气体通路出口向下游侧处理室供给材料气体，并且经由排放气体通路而将主体内气体排出，所述流体控制装置的特征在于，主体通过在长度方向上配置通路块而形成，该通路块形成有对开关阀进行收纳的凹部，通路块具有第1倒V字状通路和第1出口通路来作为形成主气体通路的通路，其中，该第1倒V字状通路在长度方向两端开口，该第1出口通路将第1倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有第2倒V字状通路和第2出口通路来作为形成排放气体通路的通路，其中，该第2倒V字状通路在长度方向两端开口，该第2出口通路将第2倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有入口通路、公共入口通路以及连通路来作为副气体流入通路，其中，该入口通路通向各开关阀的入口，该公共入口通路与入口通路连结、且通向副气体入口，连通路与入口通路连结、且与公共入口通路连结。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.27 JP 2013-2710031.一种流体控制装置，其具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体出入口，它们均在主体的长度方向的两端中的各端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；副气体入口，其设置于主体的一侧；开关阀，其在与副气体入口对应的位置配置有多个、且整体在宽度方向上排列；以及多个副气体流入通路，它们从副气体入口通向各开关阀的入口，该流体控制装置适当地对从副气体入口导入的材料气体进行切换并从主气体通路出口向下游侧处理室供给材料气体，并且经由排放气体通路而将主体内气体排出，所述流体控制装置的特征在于，主体通过在长度方向上配置通路块而形成，该通路块形成有对开关阀进行收纳的凹部，通路块具有第1倒V字状通路和第1出口通路来作为形成主气体通路的通路，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：北野太一，筱原努，药师神忠幸，中田知宏，谷川毅，山路道雄，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP