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流体控制装置制造方法及图纸
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文档序号:13058864
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主体(2)通过配置有多个通路块(3)而形成。作为形成主气体通路(9)的通路,各通路块(3)具有:第1倒V字状通路(15);以及第1出口通路(16),其将第1倒V字状通路(15)的顶部与第1开关阀(4)的出口(4b)连通。作为形成排放气体通路...
该专利属于株式会社富士金所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金授权不得商用。
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