【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光表面处理
，尤其是一种利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置。
技术介绍
材料表面上的微结构常常使材料表现出很多特殊性质。比如荷叶表面生长的微纳米乳突结构使得叶面与水珠的接触角变大，从而使荷叶具有了超疏水性及自洁性，获得了 “出淤泥而不染”的美名；壁虎的爪子上同样也密布着褶皱与绒毛，这种微纳米结构增大了壁虎与墙壁的接触面积，增强了范德华氏力的作用，使得壁虎可以在墙壁上爬行自如。利用自然界的现象改造我们的现实世界是人类的最大梦想，研究者们已经发现利用这些微纳米结构，可以改善飞行器机身的疏水特性，防止结冰发生危险；可以利用微纳米结构的超摩擦特性制作MEMS器件；可以在钨灯丝上引入微纳米结构，使灯光的发光效率明显改善等。·人们已经研究出多种方法在材料表面获得这种微结构，比如表面涂层、化学腐蚀、激光处理等,其中激光表面处理技术在近几年发展较快。激光表面处理，具有定位精确、非接触、快速成型等优点。但一般的连续激光或者长脉冲激光，只能在材料表面加工大口径的孔洞或者微槽等结构，很难获得一致性较好的微纳米结构，同时由于热效应的存在，材料表面层...
【技术保护点】
一种利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法，其特征在于，包括以下步骤：100、通过改变超快激光的出射光路，以调整出射光束的能量以及偏振方向；101、通过分光片组将改变光路后的偏振光束分为多路能量相等的分束光束；102、通过柱面透镜组将出多路分束光束聚焦为能够在靶材表面形成微光栅结构的多路并行线性聚焦线光斑；103、通过样品控制台对靶材的位置进行控制，使多路线性聚焦线光斑能够在靶材表面进行全面扫描，以形成大面积的微光栅结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世炳，刘嵩，宋海英，董祥明，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：
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