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本发明涉及激光表面处理技术领域，尤其是一种利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法，该步骤依次为：通过改变超快激光的出射光路，以调整出射光束的能量以及偏振方向；通过分光片组将改变光路后的偏振光束分为多路能量相等的分束光束；通过柱面透镜组...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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