【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池制造设备，具体是指一种太阳能硅晶片自动扩散炉。
技术介绍
目前太阳能电池的制造包含有多个工序，如硅片清洗、制绒等等，在上述的工序中都需要将硅片进行扩散。目前业内在生产中都是通过人工辅助实现石英舟入炉和硅片扩散，无法实现全自动生产。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可自动将石英舟入炉、把硅片进行扩散的扩散炉。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置和设于炉门开关装置左右两侧的左架体和右架体组成，所述的左架体上依次设置有上下排列的传送装置和工控系统装置，所述的右架体上依次设置有左右排列的硅片扩散装置和空气净化装置。其中，所述的炉门开关装置由炉门、驱动炉门上下移动的第一气缸和驱动炉门左右移动的第二气缸组成。进一步，所述的硅片扩散装置包括扩散炉体、设于扩散炉体内的石英管以及设于石英管上的充排气管，扩散炉体外设有热偶感应线。更进一步，所述的空气净化装置包括与石英管连接的恒温槽以及与恒温槽连接的石英瓶。本技术的有益效果是通过炉门开关装置、硅片扩散装置和空气净化装置依次实现石英舟的入炉以及硅片的扩散，作为自主研...
【技术保护点】
一种扩散炉，包括机架，其特征在于：所述的机架由炉门开关装置(3)和设于炉门开关装置(3)左右两侧的左架体(11)和右架体(12)组成，所述的左架体(11)上依次设置有上下排列的传送装置(2)和工控系统装置(6)，所述的右架体(12)上依次设置有左右排列的硅片扩散装置(4)和空气净化装置(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁明刚，
申请(专利权)人：东莞市启天自动化设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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