【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种密封炉门机构，具体是用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭，特别是能与移载硅片的推拉舟分开操作，可以实现全程很好的密封的炉门机构。
技术介绍
用于硅片加工的扩散炉的炉门需要较好的密封，现在使用的扩散炉炉门大都是与 移载硅片的推拉舟一体设置，在不进行工艺过程时，炉门只得敞开。这样，扩散炉大量散热， 不仅浪费了能源，也增加了再加工时炉体加热的时间，降低了效率。因此，需要对现用炉门 进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种扩散炉密封炉门机构。该炉门机构结构是与推拉舟分体设置，设计合理，较好地解决了上述技术问题。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体，其特征在于所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆，该连接杆上固定套有金属卡套，该金属卡套的里端套有压紧弹簧，该弹簧的外端的金属卡套上设有支撑托管，该托管通过支板与一个花键轴承的一端固定连接，花键轴承设有轴套，该轴套与一个旋转气缸进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸进行平移动力连接。本技术进一步完善和实施的补充方案是 所述平移气缸设有散热风扇。 所述所述花键轴承及轴套的支座、旋转气缸、平移气缸固定在底座上。 本技术的炉门机构具有结构完善、操作灵活、密封性能好、节约能源、效率高的优点。附图说明图1是本技术的整体结构示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明实施例参见附图，扩散 炉密封炉门机构，扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体9，所述石英炉门体外侧固定设有 一个连接杆9. 1，该连接杆上固定套有金属卡套9. 2，该金属卡套的...
【技术保护点】
一种扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体（９），其特征在于：所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆（９．１），该连接杆上固定套有金属卡套（９．２），该金属卡套的里端套有压紧弹簧（８），该弹簧的外端，金属卡套上设有支撑托管（９．３），该托管通过支板（７）与一个花键轴承（１）的一端固定连接，花键轴承设有轴套（１．１），该轴套与一个旋转气缸（２）进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸（５）进行平移动力连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贺小平，桂晓波，崔伟，王广明，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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