防热散失挡板以及含有该挡板的扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防热散失挡板以及含有该挡板的扩散炉，所述挡板包括：一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口，所述板体上部还设有一卡口。其中，所述板体由碳化硅制成，或所述板体外层由石英制成，内层填充石英棉。本实用新型专利技术采用不透光的物体作为挡板，最大程度地屏蔽了射线辐射防止了热散失，更好地保持了硅片扩散结深的一致性，减少因为结深达不到设定值而返工的情况；并且本实用新型专利技术可以减少对设备造成的损坏，延长了扩散炉的寿命，降低了成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

防热散失挡板以及含有该挡板的扩散炉
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种扩散系统中的防热散 失挡板以及含有该挡板的扩散炉。
技术介绍
在半导体器件及集成电路制造过程中，需要对硅片进行扩散等工艺处理。 目前一般采用传统的悬臂扩散工艺，利用高温下杂质的扩散达到掺杂的目的。在扩散过程中，需要保持扩散炉的一致温度，但是由于现在的扩散炉两端 尤其是炉口存在热散失，因此需要对扩散炉进行加热补偿。在扩散炉的前中后 三点设定温度梯度，通常是炉口和炉尾设定的加热温度要比中间高些，以弥补 两端的散热，保持扩散炉内的温度一致，保证扩散区结深尽量一致。但是，即使把温度梯度加到足够大，硅片结深一致性也不能得到保证，进 而会影响后续电学参数的控制，使得硅片由于结深达不到标准而被迫返工。此外，长期采用设定温度梯度的形式对扩散炉进行加热，由于对炉体加热 温度不均匀，对设备的损伤较大，从而縮短了炉体的使用寿命，增加了成本。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种防热散失挡板以及含有该挡板的扩散炉，以 达到提高硅片结深一致性并延长扩散炉寿命的目的。为达到上述目的，本技术提出以下的技术方案一种防热散失挡板，包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下 部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口。优选地，所述板体上部还设有一卡口。其中，所述板体由碳化硅制成。其中，所述板体外层由石英制成，内层填充石英棉。其中，所述板体的形状为圆形。一种含有防热散失挡板的扩散炉，所述扩散炉的头部和尾部至少放置一个 挡板，所述挡板包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下部设有可 与扩散炉凸台配合固定之缺口。优选地，所述板体上部还设有一卡口。优选地，所述扩散炉的头部放置有两个挡板，所述扩散炉的尾部放置有一 个挡板。其中，所述板体由碳化硅制成。其中，所述板体外层由石英制成，内层填充石英棉。从以上技术方案可以看出，本技术采用不透光的物体作为挡板，最大 程度地屏蔽了射线辐射防止了热散失，更好地保持了硅片扩散结深的一致性， 减少因为结深达不到设定值而返工的情况；并且本技术可以减少对设备造 成的损坏，延长了扩散炉的寿命，降低了成本。附图说明图1为本技术的结构图。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术的技术方案进行详细描述。本技术的目的是提高硅片结深一致性，并减少对设备的损坏，延长扩 散炉寿命。为达到这一目的，本技术的基本技术构思是，采用一些不透光 的物体最大程度屏蔽射线辐射防止热散失，从而达到提高硅片扩散区各部分结 深一致性的要求。本技术提供一种防热散失挡板，包括一横截面与扩散炉内腔配合之板 体1，与炉内腔形状配合的挡板能最大限度地将造成热散失的射线挡住，保持炉 内温度的一致性；板体1下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口 1.1，板体1下部设有一马鞍状的缺口，可以与炉底部的凸台配合将挡板固定好；板体1 上部还设有一卡口1.2，通过该卡口可以将挡板更好地夹挂在扩散炉内。由于扩 散炉内腔的形状一般为圆形，因此板体1的形状与之配合， 一般也是大半圆形， 其直径略大于硅片直径。由于热散失的主要形式是射线，例如红外光将会带走大量的热量，造成热 散失。因此，挡板的材料一般有不透光的材料制成，比如SiC (碳化硅)。挡板 还可以由石英制成，板体1的外层由石英制成，并在内层填充石英棉，这样也 能够达到防止热散失的效果，但是效果较SiC材质的挡板稍差。本技术还提供了一种含有防热散失挡板的扩散炉，扩散炉的头部和尾 部至少放置一个挡板，所述挡板包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体1，与炉 内腔形状配合的挡板能最大限度地将造成热散失的射线挡住，保持炉内温度的 一致性；板体1下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口 1.1，板体1下部设有一马鞍状的缺口，可以与炉底部的凸台配合将挡板固定好；板体1上部还设有一卡口1.2，通过该卡口可以将挡板更好地夹挂在扩散炉内。由于扩散炉内腔的形状一般为圆形，因此板体1的形状与之配合， 一般也是大半圆形，其直 径略大于硅片直径。在扩散炉中， 一般而言头部和尾部的热散失较为严重，尤其头部由于该处 为一透明石英炉帽，热散失更为严重，因此扩散炉头部一般至少放置两块挡板， 而尾部至少放置一块挡板。当然，挡板放置得越多，防热散失的效果越好。由于热散失的主要形式是射线，例如红外光将会带走大量的热量，造成热散失。因此，挡板的材料一般有不透光的材料制成，比如SiC (碳化硅)。挡板 还可以由石英制成，板体1的外层由石英制成，并在内层填充石英棉，这样也 能够达到防止热散失的效果，但是效果较SiC材质的挡板稍差。本技术采用不透光的物体作为挡板，最大程度地屏蔽了射线辐射防止 了热散失，更好地保持了硅片扩散结深的一致性，减少因为结深达不到设定值 而返工的情况；并且本技术可以减少对设备造成的损坏，延长了扩散炉的寿命，降低了成本。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和 详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以 做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术 专利的保护范围应以所附权利要求为准。权利要求1、一种防热散失挡板，其特征在于，包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口。2、 根据权利要求1所述的防热散失挡板，其特征在于所述板体上部还设有一卡口。3、 根据权利要求2所述的防热散失挡板，其特征在于，所述板体由碳化硅制成。4、 根据权利要求2所述的防热散失挡板，其特征在于，所述板体外层由石 英制成，内层填充石英棉。5、 根据权利要求1 4中任一项所述的防热散失挡板，其特征在于，所述板 体的形状为圆形。6、 一种含有防热散失挡板的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉的头部和尾 部至少放置一个挡板，所述挡板包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述 板体下部设有可与扩散炉凸台配合固定之缺口 。7、 根据权利要求6所述的含有防热散失挡板的扩散炉，其特征在于所述 板体上部还设有一卡口 。8、 根据权利要求6所述的含有防热散失挡板的扩散炉，其特征在于，所述 扩散炉的头部放置有两个挡板，所述扩散炉的尾部放置有一个挡板。9、 根据权利要求6 8中任一项所述的含有防热散失挡板的扩散炉，其特征 在于，所述板体由碳化硅制成。10、 根据权利要求6 8中任一项所述的含有防热散失挡板的扩散炉，其特 征在于，所述板体外层由石英制成，内层填充石英棉。专利摘要本技术公开了一种防热散失挡板以及含有该挡板的扩散炉，所述挡板包括一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口，所述板体上部还设有一卡口。其中，所述板体由碳化硅制成，或所述板体外层由石英制成，内层填充石英棉。本技术采用不透光的物体作为挡板，最大程度地屏蔽了射线辐射防止了热散失，更好地保持了硅片扩散结深的一致性，减少因为结深达不到设定值而返工的情况；并且本技术可以减少对设备造成的损坏，延长了扩散炉的寿命，降低了成本。文档编号C30B31/00GK201207384SQ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防热散失挡板，其特征在于，包括：　一横截面与扩散炉内腔配合之板体，所述板体下部设有可与扩散炉底部凸台配合固定之缺口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于祝鹏，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]