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本实用新型公开了一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置和设于炉门开关装置左右两侧的左架体和右架体组成，所述的左架体上依次设置有上下排列的传送装置和工控系统装置，所述的右架体上依次设置有左右排列的硅片扩散装置和空气净化装置；本实用新型...
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