【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于薄膜产品的溅射靶。此类靶可以是平面或圆柱形的并且具有呈现板或管形状的背衬体，即所谓的支撑物，陶瓷或金属靶材料被接合至该背衬体。
技术介绍
在溅射期间，靶暴露于离子轰击以及随后较高的热负荷，并且因此背衬体被水冷却。大的溅射靶通常由其上接合有一个或多个靶区段的背衬管或背衬板组成，即，这些靶区段通过一种接合材料被附接到背衬体，该接合材料可以是熔化温度较低的金属或金属合金，又称为金属焊料，或其他任一种类的导电和导热粘合剂，例如，填充弹性体。支撑物的功能是向冷却水提供电能传递(electrical powertransfer)、机械强度以及热传递，并且它允许将靶安置在溅射源中。由于呈现板或圆柱体形状的靶区段经常通 过焊接被接合在支撑物上，因此在大多数情况下，靶材料与支撑物材料之间的热膨胀系数存在错配，这导致在焊层上及在靶区段与焊料之间以及焊料与背衬体之间的界面上产生热应力，尤其是在靶接合或焊接后的冷却期间，而且还在溅射过程中靶的使用期间。此外，当焊料凝固时，它的体积可能会收缩，这也导致产生界面收缩应力。累积的热和收缩应力常常导致焊层从背衬体或靶区段材料或...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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