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一种靶组件，包括一个支撑体，该支撑体具有一个承载表面；一个溅射靶，该溅射靶具有一个附接表面，所述承载表面和所述附接表面被以彼此面对的关系安排，由此界定所述承载表面与所述附接表面之间的一个中间空间；以及一种接合材料，该接合材料被布置在该中间空...
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