【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C. § 119(e)要求2010年3月5日提交的临时申请61/311,063的权益,其全部内容以引用方式并入本文。
技术介绍
有机金属化合物用作各种用途的材料,例如作为制造光伏电池和平板显示器中所用的透明导电氧化物膜。许多有机金属化合物如二乙基锌(DEZn)容易在痕量水分、痕量氧、光存在下以及在一些热的情况下分解。在这种情况下,有机金属化合物产生金属化合物。在DEZn的情况下,分解产生固体Zn和乙烷/乙烯,乙烷/乙烯因其与DEZn之间的蒸气压差而倾向于积聚在蒸气区中并使储存容器中的压力增大。在有机金属化合物储存、运输和供应至生产设备期间,金属化合物逐渐沉积在储槽、供应设备零件和注入管中。由于金属化合物不仅污染生产工艺,而且造成供应系统中所用的零件堵塞,因此这成为一个问题。 此外,金属化合物可导致有机金属化合物进一步恶化。尽管有机金属化合物的性质不稳定,但在半导体和光伏工业中仍极需将这些不稳定化合物连续供应至生产设备,同时维持高纯度。因此,已开发了用于有机金属化合物的纯化技术和供应技术。日本专利H6-41151公开了使用活性炭柱层 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:坂田洋一,若林治人,柳田和孝,
申请(专利权)人:乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司,
类型:
国别省市:
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