【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液晶薄膜晶体管的检测装置，尤其涉及阵列基板检测装置。
技术介绍
阵列工艺是TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)制造过程中的一个阶段。在阵列工艺中，需要在基板上形成薄膜晶体管阵列电路，得到阵列基板。阵列基板的优劣直接决定了 TFT LCD的品质，对于阵列基板的检测也就成为制造流程中的重要工序。检测装置可以采用以下方式对阵列基板进行检测检测装置可以通过探针将检测信号输入至阵列基板上，并对阵列基板进行检测和分析，以确定阵列基板是否存在短路、断路等。现有技术中，探针针头形状可以包括尖形、或圆形，通过将尖形针头或圆形针头·插入阵列基板的接触孔中，实现将检测信号输入到阵列基板中。在实现上述阵列基板检测的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题探针插入接触孔中时，尖形针头的探针与接触孔的接触面积较大，容易与阵列基板发生静电击穿，进而对阵列基板造成破损；而圆形针头的探针与接触孔的接触面虽然较小，不容易发生静电击穿，但与接触孔的对位较难，使得圆形针头的探针不容易插入...
【技术保护点】
一种阵列基板检测装置，其特征在于，包括：探针，所述探针中用于检测阵列基板的尖端在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除所述尖端的所述探针的另一端与连接设备相连接，并通过所述连接设备固定在所述装置上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：阎长江，龙君，李田生，徐少颖，谢振宇，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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