阵列基板检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种阵列基板检测装置。涉及液晶薄膜晶体管的检测装置。解决了阵列基板检测装置可应用的场景的灵活性较低的问题。具体可以包括：探针，探针中用于检测阵列基板的尖端在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除尖端的探针的另一端与连接设备相连接，并通过连接设备固定在装置上。可应用于检测阵列基板。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶薄膜晶体管的检测装置，尤其涉及阵列基板检测装置。
技术介绍
阵列工艺是TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)制造过程中的一个阶段。在阵列工艺中，需要在基板上形成薄膜晶体管阵列电路，得到阵列基板。阵列基板的优劣直接决定了 TFT LCD的品质，对于阵列基板的检测也就成为制造流程中的重要工序。检测装置可以采用以下方式对阵列基板进行检测检测装置可以通过探针将检测信号输入至阵列基板上，并对阵列基板进行检测和分析，以确定阵列基板是否存在短路、断路等。现有技术中，探针针头形状可以包括尖形、或圆形，通过将尖形针头或圆形针头·插入阵列基板的接触孔中，实现将检测信号输入到阵列基板中。在实现上述阵列基板检测的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题探针插入接触孔中时，尖形针头的探针与接触孔的接触面积较大，容易与阵列基板发生静电击穿，进而对阵列基板造成破损；而圆形针头的探针与接触孔的接触面虽然较小，不容易发生静电击穿，但与接触孔的对位较难，使得圆形针头的探针不容易插入接触孔中，导致设置有尖形针头探针或圆形针头探针只可用于检测特定型号的阵列基板，可应用的场景的灵活性较低。
技术实现思路
本技术的实施例提供一种阵列基板检测装置，解决了阵列基板检测装置可应用的场景的灵活性较低的问题。为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案一种阵列基板检测装置，包括探针，所述探针中用于检测阵列基板的尖端在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除所述尖端的所述探针的另一端与连接设备相连接，并通过所述连接设备固定在所述装置上。本技术实施例提供的阵列基板检测装置，采用上述方案后，阵列基板检测装置可以根据待检测的阵列基板的检测孔的大小、和阵列基板的类型，并通过改变温度的方式改变阵列基板检测装置中探针尖端的横截面积，使得在不更换探针的情况下，该阵列基板检测装置可以检测更多型号的阵列基板，减小了在检测阵列基板时发生静电击穿的概率，增加了可应用的场景的灵活性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实施例提供的一种阵列基板检测装置结构示意图；图2为本实施例提供的另一种阵列基板检测装置结构示意图；图3为图2提供的阵列基板检测装置的探针在不同温度下的形状。其中“I”为探针；“11”尖端；“12”为另一端； “2”为连接装置； “3”为温度控制设备。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。由于LCD具有较多优点，如薄、轻、低功耗和操作电压低，因此它们被广泛使用。以下将描述制造通常用于此类LCD的液晶显示面板的方法。首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极，同时在与上基板相对的下基板上形成薄膜晶体管阵列电路和像素电极，下基板即为阵列基板。随后，在将配向膜施加到上下基板上之后，摩擦配向膜以便为将要在基板之间形成的液晶层的液晶分子提供预倾角和排列方向。此外，以预定的图案向上下基板中的至少一个施加密封胶，形成密封胶图案，以防止液晶泄漏到面板之外，并且在保持上下基板间的间隙的同时密封基板。此后，在上下基板之间形成液晶层，完成液晶显示面板的制造。在此工艺中，对阵列基板执行检测过程主要检测阵列基板是否存在缺陷，诸如检测在阵列基板上设置的栅极线和数据线是否存在断线，或者，是否存在像素的颜色低劣等。为了检测阵列基板，可以使用配备有多个探针的阵列基板检测装置进行检测。阵列基板检测装置检测方法可以包括阵列基板上布置的多个接触孔，将探针压探入接触孔中，并通过接触孔将预定的电信号施加给电极。同时，不同类型的阵列基板，探针与接触孔接触时发生静电击穿的概率不同，因而对探针尖端的要求不同，导致现有技术中的探针可能只可用于检测特定型号的阵列基板，可应用的场景的灵活性较低。为了解决上述问题，本实施例提供一种阵列基板检测装置，如图I所示，可以包括探针1，探针I中用于检测阵列基板的尖端11在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除尖端11的探针I的另一端12与连接设备2相连接，并通过连接设备2固定在装置上。采用上述方案后，阵列基板检测装置可以根据待检测的阵列基板的检测孔的大小、和阵列基板的类型，并通过改变温度的方式改变阵列基板检测装置中探针尖端的横截面积，使得在不更换探针的情况下，该阵列基板检测装置可以检测更多型号的阵列基板，减小了在检测阵列基板时发生静电击穿的概率，增加了可应用的场景的灵活性。本实施例提供另一种阵列基板检测装置，该装置是对图I所示的装置的进一步扩展，如图2所示，可以包括探针1，探针I中用于检测阵列基板的尖端11在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除尖端11的探针I的另一端12与连接设备2相连接，并通过连接设备2固定在装置上。进一步的，探针I的材料可以为形状记忆合金。形状记忆合金是具有形状记忆效应的合金，可以简称为记忆合金，是一种在加热升温后能完全消除其在较低温度下发生的形变，恢复其变形前原始形状的合金材料。本实施例对形状记忆合金的种类不作限定，可以为本领域技术人员熟知的任意材料，例如，可以为金-镉合金、或铜-锌合金、或镍-钛合金等，在此不再赘述。作为本实施例的一种实施方式，采用形状记忆合金制作的探针I在第一温度下与 在第二温度下的形状可以不同。为了控制探针I的温度，阵列基板检测装置还可以包括温度控制设备3，温度控制设备3与另一端12相连接，用于控制探针I的温度。进一步可选的，连接设备2可以为中空的，温度控制设备3可以设置于连接设备2的中空部分。进一步可选的，温度控制设备3还可以设置于连接设备2的外部，并与探针I另一端12相连接。本实施例提供的温度控制设备3可以为但不限于温度传感器、或用于导热的电阻等。本实施例对温度控制设备设置的位置、和温度控制设备控制探针温度的方法不作限定，可以根据实际需要进行设定，在此不再赘述。进一步的，探针I中的尖端11在第一温度下的横截面积为第一面积，尖端11在第二温度下的横截面积为第二面积，温度控制设备3控制探针I从第一温度变化到第二温度时，尖端11的横截面积逐渐从第一面积变为第二面积，或者，温度控制设备3控制探针I从第二温度变化到第一温度时，尖端11的横截面积逐渐从第二面积变为第一面积；第一面积与第二面积不同。进一步可选的，在第一温度下，探针I的纵截面为三角形，或者，在第二温度下，探针I的纵截面为三角形，在装置检测阵列基板时，三角形中指向阵列基板的一个角的一端为尖立而11。进一步可选的，在第二温度下，探针I的纵截面可以为四边形。本实施例对温度与探针的形状对应关系不作限定，可以根据实际需要进行设定，在此不再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板检测装置，其特征在于，包括：探针，所述探针中用于检测阵列基板的尖端在第一温度下的横截面积与在第二温度下的横截面积不同，除所述尖端的所述探针的另一端与连接设备相连接，并通过所述连接设备固定在所述装置上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：阎长江，龙君，李田生，徐少颖，谢振宇，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：